[发明专利]一种用于硅抛光片擦片清洗机的擦片刷装置在审

专利信息
申请号: 201811047882.1 申请日: 2018-09-10
公开(公告)号: CN109225973A 公开(公告)日: 2019-01-18
发明(设计)人: 熊诚雷;邵奇 申请(专利权)人: 麦斯克电子材料有限公司
主分类号: B08B1/02 分类号: B08B1/02;B08B3/02;B08B13/00
代理公司: 洛阳公信知识产权事务所(普通合伙) 41120 代理人: 逯雪峰
地址: 471000 河南省洛阳*** 国省代码: 河南;41
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 刷体 擦片 硅抛光片 进水机构 驱动机构 清洗机 进水柱 联轴器 刷装置 台阶孔 电机 高洁净度 清洗效果 布设 超纯水 圆筒状 硅片 内腔 通孔 外壁 海绵
【权利要求书】:

1.一种用于硅抛光片擦片清洗机的擦片刷装置,其特征在于:包括刷体和设置于刷体上的进水机构、驱动机构,所述刷体包括第一刷体和第二刷体,所述第二刷体为圆筒状的海绵,所述第一刷体设置于第二刷体的内部,所述第一刷体为两端开口的圆筒壳体,第一刷体的外壁还设有多个凹槽,所述凹槽与第一刷体的中心轴线相平行,所述凹槽的槽底还布设多个通孔,所述通孔与第一刷体的内腔相连通,第一刷体的两端还分别设有台阶孔,所述第一刷体分别通过两端的台阶孔连接进水机构和驱动机构;

所述进水机构包括接头和进水柱,所述接头包括挡板、连接柱和出水柱,所述连接柱设置于第一刷体一端的台阶孔内,连接柱的两端分别连接挡板和出水柱,所述出水柱设置于所述第一刷体的内部,所述挡板设置于第一刷体的外部,所述挡板、连接柱和出水柱上还分别设有互为连通的进水通道,所述进水柱设置于挡板的侧壁上;所述进水柱为圆筒形,进水柱的内腔还与挡板上的进水通道相连通;

所述驱动机构包括电机和连接于电机的联轴器,所述联轴器设置于第一刷体另一端的台阶孔内,第一刷体和联轴器相连接的一端端面上预留有销孔,联轴器上的销还通过销孔连接于所述第一刷体;所述电机设置于第一刷体的外部,所述电机还沿第一刷体中轴线的方向连接于所述联轴器。

2.根据权利要求1所述的一种用于硅抛光片擦片清洗机的擦片刷装置,其特征在于:所述刷体的两端还分别设有第一挡片和第二挡片,所述第一挡片和第二挡片均沿中心轴方向开设有安装孔,第一挡片和第二挡片还分别通过安装孔套设于挡板和联轴器的外壁处。

3.根据权利要求2所述的一种用于硅抛光片擦片清洗机的擦片刷装置,其特征在于:所述第一挡片和所述第二挡片均为圆形板,挡片的外径大于第二刷体的直径。

4.根据权利要求1所述的一种用于硅抛光片擦片清洗机的擦片刷装置,其特征在于:所述海绵为PVA海绵。

5.根据权利要求1所述的一种用于硅抛光片擦片清洗机的擦片刷装置,其特征在于:所述凹槽设置为六个,相邻的两个凹槽之间的夹角均为60°。

6.根据权利要求1所述的一种用于硅抛光片擦片清洗机的擦片刷装置,其特征在于:所述连接柱和出水柱均为圆柱型,所述挡板为矩形板,挡板的两端还分别设有弧面,所述挡板上还设有定位通孔,第一挡片和第二挡片还通过定位通孔固定于擦片清洗机工作台的立柱上。

7.根据权利要求6所述的一种用于硅抛光片擦片清洗机的擦片刷装置,其特征在于:所述挡板、连接柱和出水柱的中心轴线还相重合。

8.根据权利要求1所述的一种用于硅抛光片擦片清洗机的擦片刷装置,其特征在于:所述挡板还与第一刷体的端面相接触,挡板的端面还大于台阶孔的开口。

9.根据权利要求1所述的一种用于硅抛光片擦片清洗机的擦片刷装置,其特征在于:第一刷体两端的台阶孔内还分别设有滚动轴承,接头的出水柱和联轴器的轴还分别穿过滚动轴承的孔设置于第一刷体的腔内。

10.根据权利要求1所述的一种用于硅抛光片擦片清洗机的擦片刷装置,其特征在于:所述挡板、连接柱和出水柱上还分别设有互为连通的第一进水通道、第二进水通道和第三进水通道,所述第一进水通道与挡板的中轴线相垂直,第一进水通道的两个通道口分别设置于挡板侧壁和挡板中心点处;所述第二进水通道和所述第三进水通道还分别设置于连接柱和出水柱的中轴线上,且第二进水通道一端的通道口与第三进水通道一端的通道口相连通,第二进水通道另一端的通道口与第一进水通道的通道口在挡板中心点处相连通,所述第三进水通道还与第一刷体的内腔相连通,超纯水还通过所述进水柱、第一进水通道、第二进水通道和第三进水通道进入第一刷体的内腔。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于麦斯克电子材料有限公司,未经麦斯克电子材料有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201811047882.1/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top