[发明专利]光学位置检测装置和方法在审
| 申请号： | 201811053107.7 | 申请日： | 2018-09-10 |
| 公开（公告）号： | CN108931188A | 公开（公告）日： | 2018-12-04 |
| 发明（设计）人： | 胡进 | 申请（专利权）人： | 苏州亿拓光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/00 | 分类号： | G01B11/00 |
| 代理公司： | 苏州谨和知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32295 | 代理人： | 仲崇明 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市苏州工*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 光学位置检测装置 横向偏移 探测器 光路 入射 光源 放大 反射光束 放大镜组 工件表面 检测装置 空间位置 入射光束 位置变化 位置检测 亚微米级 反射镜 斜入射 避开 占据 申请 | ||
1.一种光学位置检测装置，其特征在于，包括：
光源；
第一反射镜，可将来自光源的入射光束以一定倾角入射在工件的待测表面；
横向偏移放大镜组，可将待测表面的反射光束进行横向偏移放大后入射至探测器；
探测器。
2.根据权利要求1所述的光学位置检测装置，其特征在于，定义一加工空间，该加工空间位于工件待测表面垂直上方，
所述光源、第一反射镜、横向偏移放大镜组和探测器均位于所述加工空间外。
3.根据权利要求2所述的光学位置检测装置，其特征在于，所述光源和第一反射镜位于所述加工空间的一侧，
横向偏移放大镜组和探测器位于所述加工空间的另外一侧。
4.根据权利要求1所述的光学位置检测装置，其特征在于，所述横向偏移放大镜组包括棱镜，该棱镜可将待测表面的反射光束进行横向偏移放大。
5.根据权利要求4所述的光学位置检测装置，其特征在于，来自待测表面的反射光束自棱镜的A面进入，并从棱镜的B面射出，
其中A面与待测表面平行。
6.根据权利要求4所述的光学位置检测装置，其特征在于，所述棱镜可将进入的反射光束进行横向偏移放大8倍。
7.根据权利要求4所述的光学位置检测装置，其特征在于，所述横向偏移放大镜组包括扩束镜组，所述扩束镜组设置于探测器和棱镜之间，
该扩束镜组可将待测表面的反射光束进行横向偏移放大。
8.根据权利要求7所述的光学位置检测装置，其特征在于，所述扩束镜组可将进入的反射光束进行横向偏移放大5～20倍。
9.根据权利要求7所述的光学位置检测装置，其特征在于，所述扩束镜组和棱镜之间设置有第二反射镜，
所述扩束镜组和第二反射镜依次设置于探测器的正下方。
10.一种光学位置检测方法，其特征在于，提供权利要求2至9任一所述的光学检测装置，
该光学检测装置具有独立的检测光路，
入射光路自加工空间的一侧倾斜入射，并自加工空间的另一侧倾斜射出。
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