[发明专利]多孔质玻璃母材的制造装置及制造方法在审

专利信息
申请号: 201811053585.8 申请日: 2018-09-11
公开(公告)号: CN109665710A 公开(公告)日: 2019-04-23
发明(设计)人: 乙坂哲也 申请(专利权)人: 信越化学工业株式会社
主分类号: C03B37/018 分类号: C03B37/018
代理公司: 深圳新创友知识产权代理有限公司 44223 代理人: 江耀纯
地址: 日本东京市千*** 国省代码: 日本;JP
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摘要:
搜索关键词: 纤壳 燃烧器 玻璃微粒子 附着 纤芯 多孔质玻璃母材 制造装置 光纤 光纤纤芯 中心轴 朝上 母棒 喷射 制造
【说明书】:

一种制造装置,制造光纤用多孔质玻璃母材,具备:纤芯形成用燃烧器,使玻璃微粒子附着在垂下的母棒上,形成相当于光纤纤芯的纤芯相当部;第1纤壳形成用燃烧器,使玻璃微粒子附着在纤芯相当部,形成相当于光纤纤壳的纤壳相当部的一部分;及第2纤壳形成用燃烧器,使玻璃微粒子附着在纤壳相当部的最表面,形成纤壳相当部的其他部分;且第2纤壳形成用燃烧器喷射的火焰的中心轴相对于水平面朝上倾斜。

技术领域

本发明涉及一种多孔质玻璃母材的制造装置及制造方法。

背景技术

已有一种VAD法(Vapor-phase Axial Deposition Method:气相轴向沉积法),使用多个合成用燃烧器,同时形成光纤用多孔质玻璃母材的纤芯相当部和纤壳相当部(参照专利文献1)。

专利文献1:日本专利第5697165号公报

发明内容

[发明要解决的问题]

当利用所述专利文献1记载的方法制造多孔质玻璃母材时,有使用水平配置的燃烧器形成的多孔质玻璃母材部分产生裂纹等而导致良率下降的情况。

[解决问题的技术方案]

在本发明的第1实施方式中,提供一种制造装置,制造光纤用多孔质玻璃母材,具备:纤芯形成用燃烧器,使玻璃微粒子附着在垂下的母棒上,形成相当于光纤纤芯的纤芯相当部;第1纤壳形成用燃烧器,使玻璃微粒子附着在纤芯相当部,形成相当于光纤纤壳的纤壳相当部的一部分;及第2纤壳形成用燃烧器,使玻璃微粒子附着在纤壳相当部的最表面,形成纤壳相当部的其他部分;且第2纤壳形成用燃烧器喷射的火焰的中心轴相对于水平面朝上倾斜。

在本发明的第2实施方式中,提供一种制造方法,使玻璃微粒子附着在垂下的母棒上,形成相当于光纤纤芯的纤芯相当部,使玻璃微粒子附着在纤芯相当部,形成相当于光纤纤壳的纤壳相当部的一部分,使玻璃微粒子附着在纤壳相当部的最表面,形成纤壳相当部的其他部分,制造光纤用多孔质玻璃母材,当形成多孔质玻璃母材的直径变成目标外径的部分时,使燃烧器倾斜,以便使形成纤壳相当部的其他部分的燃烧器喷射的火焰的中心轴相对于水平面朝上。

所述发明内容并未列举本发明的全部可能特征。这些特征群的次组合也属于本发明。

附图说明

图1是制造装置10的示意图。

图2是表示外侧纤壳形成用燃烧器43的倾斜θ与附着率的关系的图表。

图3是表示外侧纤壳形成用燃烧器43的倾斜θ与良率的关系的图表。

[附图标记的说明]

10 制造装置

11 反应容器

12 固持部

13 吸入口

14 排出口

20 母棒

30 多孔质玻璃母材

31 纤芯相当部

32 内侧纤壳相当部

33 外侧纤壳相当部

41 纤芯形成用燃烧器

42 内侧纤壳形成用燃烧器

43 外侧纤壳形成用燃烧器

具体实施方式

接下来,通过发明的实施方式说明本发明。下述实施方式并不限定权利要求的发明。实施方式中说明的特征的所有组合并非必须是发明的解决方案。

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