[发明专利]传感头

说明书

本发明提供一种确保测量精度并且能实现小型化的传感头。传感头(100)的壳(1)具有呈以作为光轴的轴(AX)为中心轴的大致圆筒形状且端部经开放的第一壳部(2)及第二壳部(3)、以及呈以轴(AX)为中心轴的大致圆环形状的连接构件(6)。第一壳部(2)及第二壳部(3)通过形成在各自的内周面的内螺纹部(2a)、内螺纹部(3d)与连接构件(6)的外螺纹部(6a)螺合而相互连接。

技术领域

本发明涉及一种传感头。

背景技术

作为不与测量对象物接触而测量其位置的装置，使用共焦光学系统的共焦测量装置已普及。

例如，专利文献1所记载的共焦测量装置在光源与测量对象物之间使用配置有衍射透镜的共焦光学系统。朝向测量对象物出射的光以与其波长相应的距离聚焦。测量装置能根据经测量对象物反射的光的波长的波峰，来对测量对象物的位置进行测量。

此种测量装置中，朝向测量对象物而配置有被称为“传感头”等的设备，从传感头向测量对象物出射光。传感头具有在内部形成有成为光路的空间的壳(case)，在此空间中收容着构成共焦光学系统的零件。由于此零件增加到多数，因此传感头的组装作业耗费大量的精力。

专利文献2中记载了一种传感头，此传感头具备包含多个壳部的壳。多个壳部通过相互连接而在其内部形成作为光路的空间。若将此壳分解，则各壳部的内部露出而能容易地进行零件的配置，因此能减轻组装作业的精力。

专利文献2所记载的传感头在沿着光轴的方向上观察的情况下(以下，将在所述方向上观察的情况称为“光轴方向观察”)，透镜呈大致圆形状，相对于此，各壳部呈大致四角形状。壳部的四角被用作形成螺孔的空间。另外，各壳部是通过在其厚度方向上贯通的螺杆而相互固定。

[现有技术文献]

[专利文献]

[专利文献1]日本专利特开2012-208102号公报

[专利文献2]日本专利特开2015-143652号公报

发明内容

[发明所要解决的问题]

专利文献2所记载的传感头在光轴方向观察时，壳部的四角较透镜而更向外方大幅度地伸出，因此可能传感头大型化。作为抑制传感头的大型化的方法，想到使用小型的透镜。但是，若伴随着透镜的小型化而其有效直径变小，则可能导致测量精度降低。

另外，对于通过在各壳部的壁厚方向上贯通的螺杆将各壳部相互固定的构成来说，为了确保螺孔周边的刚性，也必须充分增大壳部的壁厚。此种壳部的壁厚的增加也可能导致传感头的大型化。

因此，本发明的目的在于提供一种确保测量精度并且能实现小型化的传感头。

[解决问题的技术手段]

本发明的一实施方式的传感头为对测量对象物的位置进行测量的传感器的传感头，且包括：衍射透镜，使从光源侧入射的光以沿着光轴的方式向测量对象物侧出射，且使此光产生色差；物镜，配置在较衍射透镜更靠测量对象物侧，将从衍射透镜侧入射的光聚集并向测量对象物侧出射，并且使从测量对象物侧入射的光以沿着光轴的方式向衍射透镜侧出射；以及壳，在内部形成有空间，在此空间中至少收容着衍射透镜及物镜。壳具有呈以光轴为中心轴的大致圆筒形状且端部经开放的第一壳部及第二壳部、以及呈以光轴为中心轴的大致圆环形状的连接构件。第一壳部在其内部配置有衍射透镜。第二壳部在其内部配置有物镜。连接构件在其外周面形成有外螺纹部。第一壳部及第二壳部通过将形成在各自的内周面的内螺纹部与连接构件的外螺纹部螺合而相互连接。