[发明专利]便携式低湿水汽发生装置

说明书

本发明公开了一种便携式低湿水汽发生装置，包括：压缩气瓶、减压阀、第1流量调节阀、第1三通阀、水汽饱和器和混合器，所述压缩气瓶用于存储并向输气管路提供压缩气体；所述减压阀用于对输气管路中的气体进行第一次降压；所述第1流量调节阀用于对第一次降压后的气体进行流量控制，从而进行第二次降压；所述第1三通阀用于将两级降压后的气体分流到干气管路和湿气管路，所述干气管路与所述混合器相连通，所述湿气管路通过所述水汽饱和器与所述混合器相连通。本发明可以发生宽范围的水汽，并且所发生的水汽具有较好的稳定性，结构简单、便于携带、操作方便、成本小。

技术领域

本发明属于计量校准领域，涉及密封元器件水汽分析仪器的校准技术，尤其涉及一种便携式低湿水汽发生装置。

背景技术

密封元器件内部水汽含量超标是导致密封器件失效的主要原因之一，在元器件可靠性研究中，为了消除外部环境中湿气因素的影响，提高元器件的质量可靠性，元器件器的外壳一般都作了密封防潮处理，并通过填充干燥空气或高纯氮气以保证密封腔体内部处于低湿度的状态，同时，对密封元器件内部低湿水汽的含量进行严格测量控制。小腔体内部水汽质谱分析仪，是一种用来分析检测电子元器件密封腔体内的水汽含量的高分辨率分析仪器，广泛应用于密封封装类电子元器件内部水汽检测。密封元器件水汽分析仪器需要有标准低湿水汽进行标定，而低湿水汽需要水汽发生装置产生，因此对能够产生低湿水汽的发生装置有大量需求。

现有的水汽发生方式主要有三种，第一种是利用恒温恒湿箱产生恒湿气流，第二种是基于混合法产生恒湿水汽的分流法，第三种是基于热力学P、V、T关系配制水汽的双压、双温法。

恒温恒湿箱产生恒湿气流法可以直接调节工作空间(测试腔)内的气体的温度和湿度，在工作空间内形成某一特定环境空间，适合进行产品环境试验，发生湿度的范围(5～98)％RH，装置稳定性好，应用广泛。但是，恒温恒湿箱产生恒湿气流法无法发生低湿水汽，特别是水汽含量为ppm级(1×10^-6)的低湿水汽。

分流法通过调节干湿气流量(混合比)得到想要的水汽浓度的气体，湿度发生范围宽，但发生的气氛湿度稳定性与气体流量控制阀有很大关系，一般不太稳定。双压法、双温法从基本物理原理出发，具有可靠的理论基础，温度、压力可以精确测量控制，可以发生水汽浓度为(40～23000)×10^-6的恒定气流，压力、温度调节方便，水汽发生器响应快，可以实时发生水汽，但是，在发生低湿气氛时，双压法气流前后需要较大的压差，需配置压缩机、恒温槽，如气流压差不大，则发生的水汽浓度范围大大缩小，双温法气流前后则需要较大的温差，需配置加热、制冷及控温设备，如气流温差不大，则发生的水汽浓度范围(湿度范围)大大缩小，如配置这些设备，可以满足水汽浓度范围，但是这些设备体积庞大、笨重，使得整体的水汽发生装置不便于携带，不能满足现场计量校准需要。

发明内容

本发明针对现有湿度发生装置的不足之处，目的在于提供一种结构简单、便于携带、操作方便、成本小的便携式低湿水汽发生装置，能够发生范围宽、稳定性好的低湿水汽。

为了实现上述目的，本发明的一个方面提供一种便携式低湿水汽发生装置，包括：压缩气瓶、减压阀、第1流量调节阀、第1三通阀、水汽饱和器和混合器，所述压缩气瓶用于存储并向输气管路提供压缩气体；所述减压阀用于对输气管路中的气体进行第一次降压；所述第1流量调节阀用于对第一次降压后的气体进行流量控制，从而进行第二次降压；所述第1三通阀用于将两级降压后的气体分流到干气管路和湿气管路，所述干气管路与所述混合器相连通，所述湿气管路通过所述水汽饱和器与所述混合器相连通。

根据本发明的上述方面的便携式低湿水汽发生装置，可以发生宽范围的水汽，并且所发生的水汽具有较好的稳定性，结构简单、便于携带、操作方便、成本小。

附图说明

图1为本发明一种实施方式的便携式低湿水汽发生装置的结构示意图；