[发明专利]微机电系统麦克风

权利要求书

1.一种微机电系统麦克风，其特征在于，包括：

基板；

背板，设置在该基板的一侧；

振膜，设置在该基板与该背板之间并可相对于该背板移动，该振膜包含多个以同心圆排列的长孔，相邻圆中的该些长孔交替排列，用以调整该振膜的刚性；以及

第一绝缘突起和多个第二绝缘突起，形成在该背板面向该振膜的第一侧上，其中该第一绝缘突起永久性地连接并固定到该振膜，且在该振膜与每一该第二绝缘突起之间形成有一气隙。

2.如权利要求1所述的微机电系统麦克风，其中该第一绝缘突起位于该振膜的中央区域，且该些第二绝缘突起位于该振膜的环形区域，该环形区域围绕该中央区域。

3.如权利要求2所述的微机电系统麦克风，其中该些第二绝缘突起以同心圆排列的多个环形突起。

4.如权利要求3所述的微机电系统麦克风，其中该些第二绝缘突起的突起高度从该第二绝缘突起靠近该振膜的该中央区域的位置到该第二绝缘突起靠近该振膜的该环形区域的外边缘的位置逐渐减小。

5.如权利要求2所述的微机电系统麦克风，其中该些第二绝缘突起以同心圆排列的多个个别的岛状突起。

6.如权利要求5所述的微机电系统麦克风，其中该些第二绝缘突起的突起高度从该第二绝缘突起靠近该振膜的该中央区域的位置到该第二绝缘突起靠近该振膜的该环形区域的外边缘的位置逐渐减小。

7.如权利要求6所述的微机电系统麦克风，还包括介电层，设置在该基板与该振膜之间以及在该振膜与该背板之间，用以夹持该振膜的周边部分，且该振膜的该些长孔位于该介电层附近。

8.如权利要求1所述的微机电系统麦克风，其中该振膜包含至少一通气孔，配置成允许声波通过。

9.如权利要求1所述的微机电系统麦克风，其中该振膜包含至少一通气阀，配置成允许声波通过，且该至少一通气阀具有响应于通过该至少一通气阀的声波的声压的变化而可变的开口面积。

10.如权利要求1所述的微机电系统麦克风，其中该振膜包含至少一通气孔以及至少一通气阀，配置成允许声波通过，且该至少一通气阀具有响应于通过该至少一通气阀的声波的声压的变化而可变的一开口面积。

11.如权利要求1所述的微机电系统麦克风，其中该背板具有凹槽，形成在该背板的与该第一侧相对的第二侧上并对应于该第一绝缘突起，且一保护层是设置以覆盖该凹槽。

12.如权利要求11所述的微机电系统麦克风，其中该保护层包括导电材料。

13.如权利要求1所述的微机电系统麦克风，其中该第一绝缘突起连接到该背板与该振膜的中心的实心柱。

14.如权利要求1所述的微机电系统麦克风，其中该第一绝缘突起连接到该背板与该振膜的中心的空心柱。

15.如权利要求14所述的微机电系统麦克风，其中该振膜包含具有固定的开口面积的通气孔，配置成允许声波通过，且该通气孔与该空心柱的空心部分对准。

16.如权利要求14所述的微机电系统麦克风，其中该振膜包含具有可变的开口面积的通气阀，配置成允许声波通过，且该通气阀与该空心柱的空心部分对准。

17.如权利要求1所述的微机电系统麦克风，其中该背板包含导电层以及覆盖该导电层的绝缘层，且该导电层和该绝缘层分别位于该背板的该第一侧以及与该第一侧相对的第二侧，其中该第一绝缘突起和该些第二绝缘突起与该绝缘层一体成形并朝向该振膜突出。