[发明专利]一种透光材料双面测厚装置在审
申请号: | 201811058019.6 | 申请日: | 2018-09-11 |
公开(公告)号: | CN108955549A | 公开(公告)日: | 2018-12-07 |
发明(设计)人: | 刘杰波 | 申请(专利权)人: | 深圳立仪科技有限公司 |
主分类号: | G01B11/06 | 分类号: | G01B11/06 |
代理公司: | 深圳市中科创为专利代理有限公司 44384 | 代理人: | 谭雪婷;高早红 |
地址: | 518000 广东省深圳市龙岗区龙城街道*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 测量头 光学位移 采样 测厚装置 透光材料 触发 帧率 光能采集 射出光线 时序发送 电脉冲 下采样 信噪比 光能 采集 曝光 | ||
1.一种透光材料双面测厚装置,其特征在于,包括:第一光学位移测量头以及第二光学位移测量头,所述第一光学位移测量头与第二光学位移测量头同时或采样时间有重叠地射出光线;
所述第一光学位移测量头包括:第一光照射部、第一光接收部以及第一光发射部,所述第一光接收部与第一光照射部连接,所述第一光发射部分别与第一光照射部以及第一光接收部连接,所述第二光学位移测量头包括:第二光照射部、第二光接收部以及第二光发射部,所述第二光接收部与第二光照射部连接,所述第二光发射部分别与第二光照射部以及第二光接收部连接,第一光照射部与第二光照射部相对设置在被测物两侧,所述第一光照射部与第二光照射部同轴设置,所述第一光照射部以及第二光照射部给被测物提供光源,所述第一光接收部接收到的光线与所述第二接收部接收到的光线的光谱主波段相互错开或偏振角度相互错开。
2.根据权利要求1所述的透光材料双面测厚装置,其特征在于,所述第一光学位移测量头与第二光学位移测量头射出的光线的主波段波峰至少一个位于下列范围之一:430~480nm、500~530nm、535~570nm。
3.根据权利要求1所述的透光材料双面测厚装置,其特征在于,所述第一光学位移测量头与第二光学位移测量头均采用LED光源。
4.根据权利要求1所述的透光材料双面测厚装置,其特征在于,所述第一光接收部接收到的光谱主波段与所述第二接收部接收到的光谱主波段相互错开时,所述第一光照射部内设有第一色散镜片组以及设于所述第一色散镜片组下方的第一滤光片,所述第二光照射部内设有第二色散镜片组以及设于所述第二色散镜片组下方的第二滤光片,所述第一滤光片的通带与第二滤光片的通带相互错开。
5.根据权利要求1所述的透光材料双面测厚装置,其特征在于,所述第一光照射部内设有第一偏振片,所述第二光照射部内设有第二偏振片,所述第一偏振片与第二偏振片的偏振方向相互呈一定夹角。
6.根据权利要求5所述的透光材料双面测厚装置,其特征在于,所述第一偏振片与第二偏振片的偏振方向相互垂直设置。
7.根据权利要求1所述的透光材料双面测厚装置,其特征在于,所述第一光学位移测量头以及第二光学位移测量头中至少有一个为激光位移传感器或光谱共焦位移传感器。
8.根据权利要求1所述的透光材料双面测厚装置,其特征在于,第一光发射部与第二光发射部发射的光线的光谱主波段相互错开。
9.根据权利要求5所述的透光材料双面测厚装置,其特征在于,还包括第一夹持件以及第二夹持件,所述第一光照射部安装固定在所述第一夹持件上,所述第二光照射部安装固定在所述第二夹持件上,所述第一夹持件以及第二夹持件可活动调节。
10.根据权利要求1至8任一项所述的透光材料双面测厚装置,其特征在于,还包括分别与所述第一光学位移测量头以及第二光学位移测量头连接的触发部,所述触发部产生电脉冲,按照指定的时序发送到第一光学位移测量头以及第二光学位移测量头,使第一光学位移测量头与第二光学位移测量头同时或采样时间有重叠地射出光线。
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