[发明专利]一种基于等离聚焦的近场扫描探针

权利要求书

1.一种基于等离聚焦的近场扫描探针，其特征在于，包括光纤(1)和波导结构，所述的光纤(1)中央设有贯穿其长度方向的通光孔(2)，光纤(1)端面设有波导结构，所述的波导结构包括支架(3)和聚焦结构(4)，所述的支架(3)位于光纤(1)和聚焦结构(4)之间，所述的聚焦结构(4)采用锥体结构，并覆盖光纤(1)端面的通光孔(2)，所述的聚焦结构(4)由部分球体基座和锥体组成，所述球体基座的一端与光纤(1)端面连接，另一端与锥体的侧面相切，锥体的另一侧面与光纤(1)的端面倾斜连接，其尖端超出光纤(1)的侧面。

2.根据权利要求1所述的一种基于等离聚焦的近场扫描探针，其特征在于，所述的聚焦结构(4)采用光刻方法制备，并固化于光纤(1)端面。

3.根据权利要求2所述的一种基于等离聚焦的近场扫描探针，其特征在于，所述的聚焦结构(4)表面镀有金属层。

4.根据权利要求3所述的一种基于等离聚焦的近场扫描探针，其特征在于，所述金属层的厚度为30nm～200nm。

5.根据权利要求1所述的一种基于等离聚焦的近场扫描探针，其特征在于，所述聚焦结构(4)的光能量导入方式包括光纤内部传导和外部照明。

6.根据权利要求1所述的一种基于等离聚焦的近场扫描探针，其特征在于，所述的光纤(1)采用单模或多模光纤。

7.根据权利要求1或6所述的一种基于等离聚焦的近场扫描探针，其特征在于，所述光纤(1)的外径为125μm～800μm。

8.根据权利要求7所述的一种基于等离聚焦的近场扫描探针，其特征在于，所述光纤(1)的端面作抛光处理。

9.根据权利要求1所述的一种基于等离聚焦的近场扫描探针，其特征在于，所述的支架(3)采用圆柱体结构。