[发明专利]高频波纹馈源喇叭电铸芯模的精密制造方法

权利要求书

1.一种高频波纹馈源喇叭电铸芯模的精密制造方法，其特征在于包括以下过程：

步骤1：对芯模模具切片，并基于光刻技术在负性干膜光刻胶上得到芯模模具各光刻胶叠片；所有叠片均为圆环形；不同圆环形叠片的内径对应喇叭内腔相应齿或槽结构的内径，圆环形叠片的厚度对应喇叭内腔相应齿宽或槽宽;各圆环形叠片的内径逐级递增，各圆环形叠片外径一致，大于喇叭内腔齿/槽的最大处内径; 圆环形叠片上设置有等径的定位孔；

步骤2：利用定位孔逐层装配各光刻胶叠片，并利用不可逆键合技术键合各叠片，得到芯模模具；

步骤3：芯模模具内灌注液态PDMS，固化后溶解芯模模具得到电铸芯模;

步骤4: 对电铸芯模表面进行导电化处理后进行精密电铸;

步骤5：电铸完成后脱模得到成型的馈源喇叭。

2.根据权利要求1所述的高频波纹馈源喇叭电铸芯模的精密制造方法，其特征在于：

步骤1中所用光刻胶为SU-8负性干膜光刻胶。

3.根据权利要求1所述的高频波纹馈源喇叭电铸芯模的精密制造方法，其特征在于：

步骤2中所述不可逆键合技术具体为：采用等离子不可逆键合方法；将光刻胶叠片放入等离子体舱密闭后通入比例为10:1～50:1的N₂和O₂;调节舱内总体积气压在15～35Pa范围内，等离子体采用中频发生器以非接触方式，频率为20W/L～70W/L，处理15～60s后，立刻将各叠片处理面进行键合。

4.根据权利要求1所述的高频波纹馈源喇叭电铸芯模的精密制造方法，其特征在于：

步骤4中所述导电化处理采用化学镀或溅射导电层方式。

5.根据权利要求1所述的高频波纹馈源喇叭电铸芯模的精密制造方法，其特征在于：

步骤5中所述脱模处理采用在甲苯溶剂中进行或采用机械脱模方式。

6.一种高频波纹馈源喇叭电铸芯模的精密制造方法，其特征在于包括以下过程：

步骤1：对芯模切片，并基于光刻技术在负性干膜光刻胶上得到芯模各光刻胶叠片；所有叠片均为圆环形；其外径为喇叭内腔对应齿或槽的内径，其厚度为喇叭内腔对应齿宽或槽宽;各叠片中心为定位孔，孔径由喇叭内腔齿或槽的最小内径决定;

步骤2：逐层装配各光刻胶叠片并利用不可逆键合技术键合各叠片，得到电铸芯模；

步骤3: 对电铸芯模表面进行导电化处理后进行精密电铸;

步骤4：电铸完成后脱模得到成型的馈源喇叭。

7.根据权利要求6所述的高频波纹馈源喇叭电铸芯模的精密制造方法，其特征在于：

步骤1中所用光刻胶为SU-8负性干膜光刻胶。

8.根据权利要求6所述的高频波纹馈源喇叭电铸芯模的精密制造方法，其特征在于：

步骤2中所述不可逆键合技术具体为：采用等离子不可逆键合方法。将光刻胶叠片放入等离子体舱密闭后通入比例为10:1～50:1的N₂和O₂。调节舱内总体积气压在15～35Pa范围内，等离子体采用中频发生器以非接触方式，频率为20W/L～70W/L，处理15～60s后，立刻将各叠片处理面进行键合。

9.根据权利要求6所述的高频波纹馈源喇叭电铸芯模的精密制造方法，其特征在于：

步骤3中所述导电化处理采用化学镀或溅射导电层方式。

10.根据权利要求6所述的高频波纹馈源喇叭电铸芯模的精密制造方法，其特征在于：

步骤4中所述脱模处理采用在丙酮中进行。