[发明专利]定量卸料装置

说明书

本发明公开了一种定量卸料装置，包括卸料室，所述卸料室具有进料口和出料口，所述卸料室内设置有轴向贯穿所述卸料室的中心轴，所述中心轴上固定有多个分隔叶片，多个所述分隔叶片呈辐射状等圆心角的分布在所述中心轴上，所述中心轴一端伸出所述卸料室向外侧延伸，所述中心轴向外侧延伸的部分连接间歇传动机构；所述间歇传动机构包括底座、动力源和联动叉，所述底座中心固定安装在中心轴上，所述底座上以中心轴为中心圆周方向设置有多个销，所述联动叉一端设置叉口，另一端设置滑动槽，所述滑动槽套设在中心轴上，所述动力源驱动所述联动叉沿滑动槽直线往复运动，同时驱动联动叉的叉口进入或者远离所述销，所述联动叉带动所述底盘间歇转动。

技术领域

本发明涉及定量卸料装置，尤其涉及一种CVD排气系统的定量卸料装置。

背景技术

CVD是ChemicalVaporDeposition的简称，是指高温下的气相反应，例如，金属卤化物、有机金属、碳氢化合物等的热分解，氢还原或使它的混合气体在高温下发生化学反应以析出金属、氧化物、碳化物等无机材料的方法。这种技术最初是作为涂层的手段而开发的，但不只应用于耐热物质的涂层，而且应用于高纯度金属的精制、粉末合成、半导体薄膜等，是一个颇具特征的技术领域。

CVD的装置由气化部分、载气精练部分、反应部分和排除气体处理部分所构成。此系统中的排气经过设备端POU装置处理后排气中会带有大量的粉尘，粉尘堆积在制程排气的风管中会严重影响整个排气系统的工作效率，粉尘堆积严重时会因为影响了排气压力及排气量导致设备无法正常运转使得制程中的设备发生当机，所以需要一种将粉尘排除的定量卸料装置。

市场存在的此类定量卸料装置主要有以下几种：1、依靠电机及减速机进行配合传动，致使阀门体积及占用安装空间过大；2、若使叶片间歇运转，则需要不停切换电机的启停，易造成电机的损坏；3、无密封机构，导致阀门漏风量较大。

发明内容

本发明要解决的技术问题是克服现有定量卸料装置的缺点，提供一种通过机械结构来实现定量卸料的装置。

为了解决上述技术问题，本发明提供了一种定量卸料装置，包括卸料室，所述卸料室具有进料口和出料口，所述卸料室内设置有轴向贯穿所述卸料室的中心轴，所述中心轴上固定有多个分隔叶片，多个所述分隔叶片呈辐射状等圆心角的分布在所述中心轴上，所述中心轴一端伸出所述卸料室向外侧延伸，所述中心轴向外侧延伸的部分连接间歇传动机构；所述间歇传动机构包括底座、动力源和联动叉，所述底座中心固定安装在中心轴上，所述底座上以中心轴为中心圆周方向设置有多个销，所述联动叉一端设置叉口，另一端设置滑动槽，所述滑动槽套设在中心轴上，所述动力源驱动所述联动叉沿滑动槽直线往复运动，同时驱动联动叉的叉口进入或者远离所述销，所述联动叉带动所述底盘间歇转动；所述动力源包括动力轴、联动块和联动轴，所述动力轴设置在两个相邻销的圆周方向的中心线上，所述联动块一端固定安装在动力轴上，另一端通过联动轴连接联动叉。

本发明一个较佳实施例中，进一步包括所述销的设置位置与所述分隔叶片的设置位置相对应。

本发明一个较佳实施例中，进一步包括所述分隔叶片的数量与所述销的数量相同。

本发明一个较佳实施例中，进一步包括所述分隔叶片和所述销的数量均为6个。

本发明一个较佳实施例中，进一步包括所述分隔叶片远离中心轴的一端延伸至与所述卸料室的内壁相接触。

本发明一个较佳实施例中，进一步包括所述分隔叶片远离中心轴的一端的边缘贴有密封胶条。

本发明一个较佳实施例中，进一步包括所述密封胶贴为EPDM密封条。

本发明一个较佳实施例中，进一步包括所述进料口和所述出料口均设置有与所述卸料室匹配的收口。