[发明专利]多级高频压电泵

说明书

本发明属于压电泵技术领域，尤其涉及一种多级高频压电泵。包括：上阀盖、下阀盖、压电振子以及中间阀体；中间阀体设置在上阀盖和下阀盖中间，上阀盖下端面和下阀盖上端面分别与中间阀体的上下端面贴合；串联泵的表面设置有进阀道和出阀道、串联泵的内部设置有多个阀室以及用于连接阀室的单向阀；本发明的压电泵结构紧凑、体积小巧，高频输出性能好，其输出流量远好于传统多级串联泵，低频输出性能与传统串联泵想接近，且输出压力平稳，压力等级较高，具有良好的的应用前景。

技术领域

本发明属于压电泵技术领域，尤其涉及一种多级高频压电泵。

背景技术

压电泵是一种结构小巧、低耗无噪音的新型驱动泵，压电泵的工作方式独特，它通过压电陶瓷的逆压电效应将电能转化为机械能，使压电振子产生变形，进而使泵腔的容积发生变化实现流体输出；或者利用压电振子产生波动来传输流体。随着材料以及生产工艺的进步，压电泵应用范围也越来越广泛，用于医疗、精确控制等领域小微型压电泵的需求不断提高，而上述领域中对压电泵的工作状态稳定性、控制的精度、工作效率等均有苛刻的要求，导致在上述领域压电泵的应用无法满足市场需求。

发明内容

本发明创造的目的在于，基于现状，提供一种结构紧凑、流道短、体积小巧的多级高频压电泵。

为实现上述目的，本发明创造采用如下技术方案。

本发明的一种多级高频压电泵，包括：上阀盖、下阀盖、压电振子以及中间阀体；中间阀体设置在上阀盖和下阀盖中间，上阀盖下端面和下阀盖上端面分别与中间阀体的上下端面贴合；串联泵的表面设置有进阀道和出阀道、串联泵的内部设置有多个阀室以及用于连接阀室的单向阀；

其中，进阀道和阀道的出口分别设置在上阀盖或者下阀盖的外表面，或者设置在中间阀体外表面；

阀室由控制腔以及压力腔围成，控制腔从上阀盖的下端面或者下阀盖的上端面向其内部挖出，压力腔从中间阀体的上端面或者下端面向其内部挖出；压力腔与控制腔的位置相互对应以围成阀室，控制腔以及压力腔之间设置有压电振子；

单向阀设置在中间阀体上，阀室依次通过单向阀连通，流体从进阀道进入后经过各阀室最后从出阀道流出，各单向阀的出口朝向流体流动方向。

对上述方案的进一步改进还包括，压电振子安装在从压力腔边缘挖出的安装槽内，安装槽内还设置有密封圈，上/下阀盖和中间阀体的贴紧面之间还设置有密封涂层。

对上述方案的进一步改进还包括，上/下阀盖与中间阀体之间通过铆接或者扣接。

对上述方案的进一步改进还包括，包括两个压电振子，进阀道和出阀道分别设置在上阀盖和下阀盖，阀室为下上分布；串联泵工作时，两个压电振子工作的相位差180。

对上述方案的进一步改进还包括，包括三个压电振子，进阀道和出阀道同时设置在上/下阀盖，串联的阀室依次轮流设置在中间体的上端面和下端面，阀室位置依次为上下上分布；三联串联泵工作时，第一压电振子和第二压电振子同步工作，第三压电振子异步工作。

对上述方案的进一步改进还包括，包括四个压电振子，其中进阀道和出阀道同时设置在中间阀体上，依次串联的阀室两两设置在中间体两侧，阀室位置依次为上上下下分布。

其有益效果在于：

本发明的压电泵结构紧凑、体积小巧，高频输出性能好，其输出流量远好于传统多级串联泵，低频输出性能与传统串联泵想接近，且输出压力平稳，压力等级较高，具有良好的的应用前景。

附图说明

图1是的本发明的一种双联串联压电泵的结构示意图；

图2是的本发明的一种三联串联压电泵的结构示意图；

图3是的本发明的一种四联串联压电泵的结构示意图；