[发明专利]蚀刻时间侦测方法及蚀刻时间侦测系统

权利要求书

1.一种蚀刻时间侦测方法，其特征在于，包括以下步骤：

依据一配方数据执行一蚀刻制程，其中该配方数据包括一蚀刻时间；

于该蚀刻时间中的一判断时间内接收由数组光感测元件所传输的数个透光率数值；

依据该配方数据，分别撷取由各组该光感测元件所传输的该些透光率数值，以产生相应的数个计算数值；

于该判断时间内处理该些计算数值，以产生相应各组该光感测元件的数值分布数据；以及

比对该些数值分布数据，以决定一过蚀刻时间。

2.如权利要求1所述的蚀刻时间侦测方法，其特征在于，该蚀刻时间依据一单位时间区分成数个时间区间，该蚀刻时间包含连续的一时间区间与一预测时间区间，该预测时间区间为该时间区间加上该单位时间，所述依据该配方数据，分别撷取由各组该光感测元件所传输的该些透光率数值，以产生相应的该些计算数值的步骤，包括以下步骤：

依据该配方数据中的一制程数值与一允许误差值，以产生该预测时间区间的一预测数值范围，其中该制程数值系为在该时间区间的各组该光感测元件相应的该些计算数值，该允许误差值系在该预测时间区间依据该配方数据所调整；

依据该预测数值范围，撷取符合该预测数值范围内各组该光感测元件的该些透光率数值，以作为该预测时间区间的各组该光感测元件相应的该些计算数值；以及

更新该预测时间区间的各组该光感测元件相应的该些计算数值至该制程数值。

3.如权利要求2所述的蚀刻时间侦测方法，其特征在于，所述于该判断时间内处理该些计算数值，以产生相应各组该光感测元件的该数值分布数据的步骤，包括以下步骤：

在一取样范围内，依据各该时间区间内各组该光感测元件的该些计算数值，以产生相应的一初步分布数据，其中该初步分布数据包括数个第一撷取点，各该第一撷取点对应于各该时间区间各组该光感测元件的一第一撷取数值；以及

依据各组该光感测元件的该初步分布数据中各该第一撷取点之间的数值变化关系，以筛选出相应的该数值分布数据。

4.如权利要求3所述的蚀刻时间侦测方法，其特征在于，所述依据各组该光感测元件的该初步分布数据中该些第一撷取点之间的数值变化关系，以筛选出相应的该数值分布数据的步骤，包括以下步骤：

于各该时间区间比较各组该光感测元件的该些计算数值；以及

选取各组该光感测元件在各该时间区间该些计算数值的最大值，以作为相应的该第一撷取数值。

5.如权利要求4所述的蚀刻时间侦测方法，其特征在于，所述依据各组该光感测元件的该初步分布数据中该些第一撷取点之间的数值变化关系，以筛选出相应的该数值分布数据的步骤，包括以下步骤：

在该取样范围内，依各该时间区间的时序，撷取符合一斜率条件的该些第一撷取点作为相应的一第二撷取点；以及

在该取样范围内，依各该时间区间的时序，判断该些第二撷取点是否符合一路径条件。

6.如权利要求5所述的蚀刻时间侦测方法，其特征在于，所述撷取符合该斜率条件的该些第一撷取点作为相应的该第二撷取的步骤，包括以下步骤：

在该取样范围内，依各该时间区间的时序，由该些第一撷取点之间寻找一初始点与一最末点；

由该初始点开始至该最末点，计算连续三个该第一撷取点的两斜率；以及

比较各该两斜率的方向，若该两斜率的方向相同，将符合该两斜率的方向相同的各该第一撷取点作为相应的该第二撷取点。

7.如权利要求5所述的蚀刻时间侦测方法，其特征在于，所述判断该些第二撷取点是否符合该路径条件的步骤，包括以下步骤：

在该取样范围内，依各该时间区间的时序，计算连续两个该第二撷取点的一连线距离；

依各该时间区间的时序，在该些连线距离之间，搜寻各该时间区间中各组该光感测元件的该些计算点与任一该第二撷取点的距离是否小于相应的该连线距离，其中该些计算点对应于各该时间区间各组该光感测元件相应的该些计算数值；以及

若有，将该计算点取代为该第二撷取点。