[发明专利]微机械转速传感器组件和相应的制造方法

权利要求书

1.微机械转速传感器组件，所述微机械转速传感器组件具有：

能够通过驱动装置(AT1、AT2；AT2；AT1’、AT2’)经由驱动框架装置(RA1a、RA1b、RA2a、RA2b；RA1a’、RA1b’、RA2a、RA2b；RA1’、RA2’)围绕第一轴(z)旋转振荡地被驱动的第一转速传感器装置(100)，用于感测围绕第二轴(y)的第一外部转速和围绕第三轴(x)的第二外部转速，其中，所述第一轴(z)、所述第二轴(y)和所述第三轴(x)相对彼此垂直地布置；和

能够通过所述驱动装置(AT1、AT2；AT2；AT1’、AT2’)经由所述驱动框架装置(RA1a、RA1b、RA2a、RA2b；RA1a’、RA1b’、RA2a、RA2b；RA1’、RA2’；RA1’、RA2’)沿着所述第三轴(x)线性振荡地被驱动的第二转速传感器装置(200)，用于感测围绕所述第一轴(z)的第三外部转速；

其中，所述第一转速传感器装置(100)通过所述驱动框架装置(RA1a、RA1b、RA2a、RA2b；RA1a’、RA1b’、RA2a、RA2b；RA1’、RA2’)与所述第二转速传感器装置(200)连接；

其中，所述驱动框架装置(RA1a、RA1b、RA2a、RA2b；RA1a’、RA1b’、RA2a、RA2b；RA1’、RA2’；RA1’、RA2’)具有第一驱动框架(RA1a、RA1b；RA1’)和第二驱动框架(RA2a、RA2b；RA2’)，这些驱动框架能够通过所述驱动装置(AT1、AT2；AT2；AT1’、AT2’)沿着所述第三轴(x)反相振荡地被驱动。

2.根据权利要求1所述的微机械转速传感器组件，其中，能被旋转驱动的所述第一转速传感器装置(100)具有：

第一转子装置(1a；1a’)，该第一转子装置能够围绕所述第一轴(z)振荡地被驱动；

第二转子装置(1b；1b’)，该第二转子装置能够围绕所述第一轴(z)相对于所述第一转子装置(1a；1a’)反相振荡地被驱动；

其中，所述第一转子装置(1a；1a’)能够通过围绕所述第二轴(y)的所述第一外部转速并且通过围绕所述第三轴(x)的所述第二外部转速倾翻，并且，其中，所述第二转子装置(1b；1b’)能够通过围绕所述第二轴(y)的所述第一外部转速和围绕所述第三轴(x)的所述第二外部转速相对于所述第一转子装置(1a；1a’)反向平行地倾翻；

第一耦合装置(S1、F5；S2、F6；SA、SB、F12)，该第一耦合装置具有第一弹簧装置(F13)，通过该第一弹簧装置使所述第一转子装置(1a；1a’)和所述第二转子装置(1b；1b’)这样耦合，使得抑制围绕所述第二轴(y)的平行倾翻并且能够实现围绕所述第二轴(y)的反向平行倾翻；

第二耦合装置(K1、K2)，通过该第二耦合装置使所述第一转子装置(1a；1a’)和所述第二转子装置(1b；1b’)这样耦合，使得抑制围绕所述第三轴(x)的平行倾翻并且能够实现围绕所述第三轴(x)的反向平行倾翻；

用于感测所述第一转子装置(1a；1a’)和所述第二转子装置(1b；1b’)围绕所述第二轴(y)的反向平行倾翻的第一感测装置(CPY、CNY；CPY’、CNY’)；和

用于感测所述第一转子装置(1a；1a’)和所述第二转子装置(1b；1b’)围绕所述第三轴(x)的反向平行倾翻的第二感测装置(CPX、CNX；CPX’、CNX’)。