[发明专利]铸造类单晶制备方法在审
申请号: | 201811064511.4 | 申请日: | 2018-09-12 |
公开(公告)号: | CN109161965A | 公开(公告)日: | 2019-01-08 |
发明(设计)人: | 汪沛渊;张涛;白枭龙;欧子杨;晏文勇;李省平;刘文婷;邓清香;金浩 | 申请(专利权)人: | 晶科能源有限公司;浙江晶科能源有限公司 |
主分类号: | C30B29/06 | 分类号: | C30B29/06;C30B11/00;C30B28/06 |
代理公司: | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人: | 何世磊 |
地址: | 334100 江西*** | 国省代码: | 江西;36 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 坩埚 铸造 熔化 单晶制备 单晶籽晶 掺杂剂层 掺杂剂 电阻率 单晶 引晶 电阻率分布 均匀铺设 母合金 硅料 填入 预设 制备 加热 铺设 扩散 | ||
1.一种铸造类单晶制备方法,其特征在于,包括:
在坩埚底部铺设一层含磷的掺杂剂,以形成一掺杂剂层;
在所述掺杂剂层上铺设一层类单晶籽晶,以形成一引晶层;
将硅料和母合金依次填入所述坩埚内;
将坩埚加热至预设温度,以使所述类单晶籽晶部分熔化。
2.根据权利要求1所述的铸造类单晶制备方法,其特征在于,所述掺杂剂包括磷粉和/或N型母合金。
3.根据权利要求1所述的铸造类单晶制备方法,其特征在于,所述在坩埚底部铺设一层含磷的掺杂剂的步骤之前,所述方法还包括:在所述坩埚的内壁喷涂一层氮化硅涂层。
4.根据权利要求1所述的铸造类单晶制备方法,其特征在于,所述将坩埚加热至预设温度的步骤之后,所述方法还包括:持续对所述坩埚加热并通过一个散热装置对其散热,使其保持所述预设温度。
5.根据权利要求1所述的铸造类单晶制备方法,其特征在于,所述将硅料和母合金依次填入所述坩埚内的步骤包括:将所述坩埚三分之二的容积填入所述硅料后,再将所述母合金填入所述硅料的上端,所述母合金装填完成后,将剩余所述硅料继续装入所述坩埚中。
6.根据权利要求1所述的铸造类单晶制备方法,其特征在于,所述将硅料和母合金依次填入所述坩埚内的步骤之前,所述方法包括:在所述坩埚内部标记填充位置,所述填充位置从所述坩埚的开口处竖直延伸至所述坩埚内部。
7.根据权利要求1所述的铸造类单晶制备方法,其特征在于,铺设的所述类单晶籽晶的宽度小于所述坩埚底部的宽度,且铺设的所述掺杂剂的宽度小于铺设的所述类单晶籽晶的宽度。
8.根据权利要求1所述的铸造类单晶制备方法,其特征在于,所述类单晶籽晶平整铺设于所述坩埚的底部,且相邻两类单晶籽晶之间具有接缝,所述掺杂剂铺设于所述接缝中,以形成所述掺杂剂层。
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