[发明专利]铸造类单晶制备方法在审

专利信息
申请号: 201811064511.4 申请日: 2018-09-12
公开(公告)号: CN109161965A 公开(公告)日: 2019-01-08
发明(设计)人: 汪沛渊;张涛;白枭龙;欧子杨;晏文勇;李省平;刘文婷;邓清香;金浩 申请(专利权)人: 晶科能源有限公司;浙江晶科能源有限公司
主分类号: C30B29/06 分类号: C30B29/06;C30B11/00;C30B28/06
代理公司: 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 代理人: 何世磊
地址: 334100 江西*** 国省代码: 江西;36
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摘要:
搜索关键词: 坩埚 铸造 熔化 单晶制备 单晶籽晶 掺杂剂层 掺杂剂 电阻率 单晶 引晶 电阻率分布 均匀铺设 母合金 硅料 填入 预设 制备 加热 铺设 扩散
【权利要求书】:

1.一种铸造类单晶制备方法,其特征在于,包括:

在坩埚底部铺设一层含磷的掺杂剂,以形成一掺杂剂层;

在所述掺杂剂层上铺设一层类单晶籽晶,以形成一引晶层;

将硅料和母合金依次填入所述坩埚内;

将坩埚加热至预设温度,以使所述类单晶籽晶部分熔化。

2.根据权利要求1所述的铸造类单晶制备方法,其特征在于,所述掺杂剂包括磷粉和/或N型母合金。

3.根据权利要求1所述的铸造类单晶制备方法,其特征在于,所述在坩埚底部铺设一层含磷的掺杂剂的步骤之前,所述方法还包括:在所述坩埚的内壁喷涂一层氮化硅涂层。

4.根据权利要求1所述的铸造类单晶制备方法,其特征在于,所述将坩埚加热至预设温度的步骤之后,所述方法还包括:持续对所述坩埚加热并通过一个散热装置对其散热,使其保持所述预设温度。

5.根据权利要求1所述的铸造类单晶制备方法,其特征在于,所述将硅料和母合金依次填入所述坩埚内的步骤包括:将所述坩埚三分之二的容积填入所述硅料后,再将所述母合金填入所述硅料的上端,所述母合金装填完成后,将剩余所述硅料继续装入所述坩埚中。

6.根据权利要求1所述的铸造类单晶制备方法,其特征在于,所述将硅料和母合金依次填入所述坩埚内的步骤之前,所述方法包括:在所述坩埚内部标记填充位置,所述填充位置从所述坩埚的开口处竖直延伸至所述坩埚内部。

7.根据权利要求1所述的铸造类单晶制备方法,其特征在于,铺设的所述类单晶籽晶的宽度小于所述坩埚底部的宽度,且铺设的所述掺杂剂的宽度小于铺设的所述类单晶籽晶的宽度。

8.根据权利要求1所述的铸造类单晶制备方法,其特征在于,所述类单晶籽晶平整铺设于所述坩埚的底部,且相邻两类单晶籽晶之间具有接缝,所述掺杂剂铺设于所述接缝中,以形成所述掺杂剂层。

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