[发明专利]一种微小气体流量计校准装置

权利要求书

1.一种微小气体流量计校准装置，其特征在于：包括驱动机构(27)、传动机构(28)、光栅尺(23)、基座(9)、对称柱塞(17)、第一缸体(25)和第二缸体(10)，所述驱动机构(27)与传动机构(28)的一端连接，所述传动机构(28)包括T型传动块(7)，所述T型传动块(7)的一端通过光栅连接块(19)与光栅尺(23)的测头连接，所述光栅尺(23)设置在所述基座一侧，所述基座(9)一端设置有第一缸体(25)，另一端设置有第二缸体(10)，所述T型传动块(7)竖直部与对称柱塞(17)连接，所述对称柱塞(17)两端分别与第一缸体(25)和第二缸体(10)同轴连接，所述第一缸体(25)通过连接管道(13)与第二缸体(10)连通，所述连接管道(13)上并联设置有单向流量指示器(20)和双向流量指示器(21)。

2.根据权利要求1所述一种微小气体流量计校准装置，其特征在于：所述第一缸体(25)远离基座(9)的一端设置有第一腔体(26)，所述第二缸体(10)远离基座(9)的一端设置有第二腔体(11)，所述第一腔体(26)和第二腔体(11)上都装有温度传感器(12)和压力传感器(16)，所述第二腔体(11)的出气端与被检流量计(14)的进气端连通，所述被检流量计(14)的出气端与调节阀(15)连通。

3.根据权利要求1所述一种微小气体流量计校准装置，其特征在于：所述驱动机构(27)包括电机(1)、减速器(2)、减速器座(3)和联轴器(4)，所述电机(1)与固定在所述减速器座(3)上的减速器(2)连接，所述减速器(2)经联轴器(4)与丝杆(8)的一端连接。

4.根据权利要求1所述一种微小气体流量计校准装置，其特征在于：所述传动机构(28)还包括丝杆(8)和导轨滑块组(6)，所述丝杆(8)通过丝杆固定座(5)安装在所述基座(9)上，所述丝杆(8)通过螺母与T型传动块(7)连接，所述T型传动块(7)通过导轨滑块组(6)与基座(9)滑动连接。

5.根据权利要求1所述一种微小气体流量计校准装置，其特征在于：所述导轨滑块组(6)、丝杆(8)和对称柱塞(17)平行设置于所述T型传动块(7)下方，且与T型传动块(7)保持垂直。

6.根据权利要求1所述一种微小气体流量计校准装置，其特征在于：所述T型传动块(7)的竖直部设置有对称柱塞(17)穿过的通孔，所述对称柱塞通过柱塞固定块(18)与T型传动块(7)连接。

7.根据权利要求1所述一种微小气体流量计校准装置，其特征在于：所述第一缸体(25)和第二缸体(10)靠近基座(9)的一端均设有侧通孔，所述侧通孔与所述连接管道(13)连通。

8.根据权利要求1所述一种微小气体流量计校准装置，其特征在于：所述连接管道(13)上还并联设置有两组阀门(22)，所述单向流量指示器(20)两侧均设置有一个阀门，所述双向流量指示器两侧也均设置有一个阀门。

9.根据权利要求1所述一种微小气体流量计校准装置，其特征在于：所述第一腔体(26)的进气端设置有进气口。

10.根据权利要求1所述一种微小气体流量计校准装置，其特征在于：所述第一腔体(26)和第二腔体(11)的直径大于所述第一缸体(25)和第二缸体(10)，并与所述第一缸体(25)和第二缸体(10)连通。