[发明专利]一种太阳电池铜栅线图形形成的大规模制造方法在审
申请号: | 201811066647.9 | 申请日: | 2018-09-12 |
公开(公告)号: | CN109192819A | 公开(公告)日: | 2019-01-11 |
发明(设计)人: | 罗骞;倪鹏玉 | 申请(专利权)人: | 福建钧石能源有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;H01L31/0224 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 362000 福建*** | 国省代码: | 福建;35 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 太阳电池片 感光膜 曝光机 单片 大规模制造 正反两面 线图形 去膜 铜栅 覆盖 太阳能电池片 玻璃台面 方式放置 规模生产 曝光方式 曝光工序 显影工艺 栅线图形 自动上料 自动下料 曝光 电池片 电镀机 显影机 易碎性 电镀 多片 良率 量产 送出 显影 | ||
1.一种太阳电池铜栅线图形形成的大规模制造方法,其特征在于:所述方法包括如下步骤:
太阳电池片以单片连续流片方式在正反两面覆盖感光膜;
覆盖感光膜后的太阳电池片以自动上料方式放置于曝光机的玻璃台面;
至少两片太阳电池片在曝光机内同时曝光正反两面;
曝光后的太阳电池片以自动下料方式从曝光机送出后以单片连续流片方式流至显影机、电镀机、去膜机完成显影、电镀、去膜。
2.根据权利要求1所述一种太阳电池铜栅线图形形成的大规模制造方法,其特征在于:所述感光膜为干膜或湿膜中的一种。
3.根据权利要求1所述一种太阳电池铜栅线图形形成的大规模制造方法,其特征在于:所述在太阳电池片的正反两面覆盖感光膜采用滚筒贴膜、浸涂、喷涂、辊涂方式中的至少一种。
4.根据权利要求3所述一种太阳电池铜栅线图形形成的大规模制造方法,其特征在于:所述覆盖感光膜后的太阳电池片侧面分为被感光膜包覆和不被感光膜包覆,所述太阳电池片侧面不被感光膜包覆,则感光膜的覆盖范围等同于太阳电池片的面积或者小于太阳电池片的面积,若感光膜的覆盖范围小于太阳电池片的面积,则感光膜的边缘距离太阳电池片的边缘不超过1.5mm。
5.根据权利要求1所述一种太阳电池铜栅线图形形成的大规模制造方法,其特征在于:所述曝光机采用接触式曝光机或者非接触式曝光机。
6.根据权利要求1所述一种太阳电池铜栅线图形形成的大规模制造方法,其特征在于:所述曝光机同时曝光2-24片太阳电池片的正反两面。
7.根据权利要求1所述一种太阳电池铜栅线图形形成的大规模制造方法,其特征在于:所述太阳电池片在曝光机内同时曝光正反两面时的位置通过限位框、真空吸附或者限位框加真空吸附的方式固定在曝光台面上。
8.根据权利要求7所述一种太阳电池铜栅线图形形成的大规模制造方法,其特征在于:所述限位框的尺寸比电池片的尺寸宽0.3-1mm,高度与电池片的厚度保持一致,误差范围在100-160um内,所述限位框材料采用对紫外光反射率低的金属或者塑料。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
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