[发明专利]基板检查系统以及使用基板检查系统制造半导体器件的方法

权利要求书

1.一种基板检查系统，包括：

浮动单元，被配置为使基板浮动；

检查单元，布置在所述浮动单元上方并且被配置为检查在所述浮动单元上浮动的所述基板；

握持单元，布置在所述检查单元下方，并且包括第一握持构件，所述第一握持构件被配置为将所述基板保持在所述浮动单元上；

握持传送单元，被配置为沿第一方向移动所述握持单元；以及

照明单元，被配置为产生光，其中，所述照明单元布置在所述握持单元的移动路径上，以使得由所述照明单元产生的光照射到所述检查单元上，

其中，所述第一握持构件包括：

第一吸附垫，被配置为吸附所述基板；以及

第一支撑构件，被配置为支撑所述第一吸附垫并且包括第一开口，所述照明单元插入所述第一开口中。

2.根据权利要求1所述的系统，其中，所述第一支撑构件包括：

第一支撑板，具有彼此面对的上表面和下表面；以及

第一支撑架，从所述第一支撑板的下表面开始延伸，

其中，所述第一吸附垫布置在所述第一支撑板的上表面上，并且沿所述第一方向与所述第一支撑架间隔开，

其中，所述第一开口布置在所述第一支撑板的下表面下方。

3.根据权利要求2所述的系统，其中，所述第一开口包括：

重叠区域，与所述第一吸附垫重叠；以及

非重叠区域，不与所述第一吸附垫重叠，

其中，所述非重叠区域布置在所述重叠区域和所述第一支撑架之间。

4.根据权利要求1所述的系统，其中，所述握持单元还包括：

第二握持构件，被配置为保持所述基板并且沿所述第一方向与所述第一握持构件间隔开，

其中，所述第二握持构件包括：

第二吸附垫，被配置为吸附所述基板；以及

第二支撑构件，被配置为支撑所述第二吸附垫并且包括第二开口，所述照明单元插入所述第二开口中。

5.根据权利要求4所述的系统，其中，所述第二支撑构件包括：

第二支撑板，具有彼此面对的上表面和下表面；以及

第二支撑架，从所述第二支撑板的下表面开始延伸，并且沿所述第一方向与所述第二吸附垫间隔开，

其中，所述第二吸附垫布置在所述第二支撑板的上表面上，

其中，所述第二开口布置在所述第二支撑板的下表面下方。

6.根据权利要求5所述的系统，其中，所述第二开口包括：

重叠区域，与所述第二吸附垫重叠；以及

非重叠区域，不与所述第二吸附垫重叠；

其中，所述非重叠区域布置在所述重叠区域和所述第二支撑架之间。

7.根据权利要求4所述的系统，其中，所述照明单元布置在所述第一握持构件和所述第二握持构件之间。

8.根据权利要求4所述的系统，其中，所述握持单元还包括：

托盘，将所述第一握持构件连接到所述第二握持构件，

其中，所述第一开口布置在所述第一吸附垫和所述托盘之间，并且所述第二开口布置在所述第二吸附垫和所述托盘之间。

9.根据权利要求1所述的系统，其中，所述浮动单元包括：

第一浮动台，被配置为朝所述基板喷射气体；以及

第二浮动台，被配置为朝所述基板喷射气体，其中，所述第二浮动台沿所述第一方向与所述第一浮动台间隔开，

其中，所述照明单元包括第一照明构件，所述第一照明构件布置在所述第一浮动台和所述第二浮动台之间并且沿与所述第一方向相交的第二方向延伸。

10.根据权利要求9所述的系统，其中，所述第一照明构件包括沿所述第二方向排列的多个光源。