[发明专利]一种新型管状ITO靶材的制备方法在审
| 申请号： | 201811068187.3 | 申请日： | 2018-09-13 |
| 公开（公告）号： | CN109354490A | 公开（公告）日： | 2019-02-19 |
| 发明（设计）人： | 刘洪浩 | 申请（专利权）人： | 江苏比昂电子材料有限公司 |
| 主分类号： | C04B35/457 | 分类号： | C04B35/457;C04B35/622;C04B35/645;C23C14/08;C23C14/35 |
| 代理公司： | 苏州市指南针专利代理事务所(特殊普通合伙) 32268 | 代理人： | 冯现伟 |
| 地址： | 215000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 制备 化学共沉淀 新型管状 球磨 煅烧 脱水 市场竞争力 重量百分比 高密度化 四氯化锡 真空烧结 晶粒 微细 偏析 铟锭 淘汰 制作 | ||
1.一种新型管状ITO靶材的制备方法，其特征在于：所述ITO粉末以铟锭和四氯化锡为原料，通过工序制备得到重量百分比In2O3:SnO2＝96:3、纯度≥99.98％、粒度为0.7～1.5μm的ITO。
2.根据权利要求1所述的一种新型管状ITO靶材的制备方法，其特征在于：所述ITO粉末通过化学共沉淀、脱水、煅烧及球磨的工序制备而成。
3.根据权利要求1所述的一种新型管状ITO靶材的制备方法，其特征在于：所述ITO粉末装入到制备容器中，从而经过工序制备得到管状ITO靶材，ITO粉末与容器之间设置有隔离材料，所述隔离材料可以是石墨纸和氮化硼陶瓷材料等其它材料。
4.根据权利要求1所述的一种新型管状ITO靶材的制备方法，其特征在于：所述ITO粉末在加热真空环境下进行制备，所述加热真空抽气是在400-1100℃条件下进行抽气，从而将内部真空度调节到10-2Pa～10-4Pa之间，而最低的真空度为10-1Pa以上。
5.根据权利要求1所述的一种新型管状ITO靶材的制备方法，其特征在于：所述ITO粉末在制备容器中进行加热真空抽气处理前，应对加入容器的ITO粉末进行振实处理，而ITO粉末的计算振实密度为4.50～5.00g/cm3。
6.根据权利要求1所述的一种新型管状ITO靶材的制备方法，其特征在于：所述热等静压处理的温度为1000-1100℃，压力为100-200Mpa，保温保压时间为3～12h。
7.根据权利要求2所述的一种新型管状ITO靶材的制备方法，其特征在于：所述ITO粉末是通过如下方法制备得到的：合成后，首先打磨ITO表面除去异物，再用无水酒精擦洗2～3次，然后在纯水中经超声波清洗2～3次，清洗后采用真空干燥或热风干燥进行干燥处理，最后采用颚式或离心式破碎机对干燥后的ITO进行破碎，并采用100目的不锈钢筛网进行过筛，得到ITO粉末。
8.根据权利要求1所述的一种新型管状ITO靶材的制备方法，其特征在于：所述铟锭为4N级铟锭，所述的四氯化锡为分析纯级结晶四氯化锡，通过两者所得到的ITO粉经44～50MPa压力下冷压成型为冷压坯。
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