[发明专利]一种多算法叠加判断高密度半导体芯片管脚变形的方法在审

专利信息
申请号: 201811068306.5 申请日: 2018-09-13
公开(公告)号: CN109459436A 公开(公告)日: 2019-03-12
发明(设计)人: 康远潺;姜胜林;赵俊;范旭阳;周元辰 申请(专利权)人: 深圳市卓精微智能机器人设备有限公司
主分类号: G01N21/88 分类号: G01N21/88;G06T7/00
代理公司: 深圳市徽正知识产权代理有限公司 44405 代理人: 李想
地址: 518000 广东省深圳市宝*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 算法 检测 高密度半导体 检测芯片 判别结果 视觉图像 芯片管脚 变形的 引脚 叠加 半导体芯片 不良芯片 参数设计 多重算法 检测信号 软件触发 软件方面 图像匹配 支持软件 组合检测 最终结果 检测管 结果图 显示管 板卡 选项 拍照 视觉 成功 生产
【权利要求书】:

1.一种多算法叠加判断高密度半导体芯片管脚变形的方法,其特征在于,包括PC端硬件和软件,PC端硬件和软件负责检测芯片引脚好坏,其检测步骤为:

1.1)接收到检测信号以后,软件触发拍照;

1.2)软件使用LABVIEW编写了视觉图像的检测方案和算法;

1.3)经过多重算法和参数设计,检测管脚数量;

1.4)成功的识别OK和NG就能根据需求组合检测选项进行半导体芯片的检测;

1.5)结合所有检测结果,得出最终结果。

2.根据权利要求1所述的一种多算法叠加判断高密度半导体芯片管脚变形的方法,其特征在于,所述图像经过软件二值化处理后对芯片的引脚进行算法处理,根据检测选项的不同要求得出结果,根据所有结果综合起来判断芯片是否符合要求。

3.根据权利要求1所述的一种多算法叠加判断高密度半导体芯片管脚变形的方法,其特征在于,所述步骤1.1)中,软件拍照拍摄的内容为OK的结果图和NG的结果图。

4.根据权利要求3所述的一种多算法叠加判断高密度半导体芯片管脚变形的方法,其特征在于,所述NG的结果图,显示对应不良原因,不良原因包括:脚数量不良、端子间距不良、端子长度不良、端子之间的长度偏差不良和图像匹配不良中的一种或多种。

5.根据权利要求1所述的一种多算法叠加判断高密度半导体芯片管脚变形的方法,其特征在于,所述PC端硬件端口通过TTL接口与自动化设备连接,实现自动化流程检测。

6.根据权利要求5所述的一种多算法叠加判断高密度半导体芯片管脚变形的方法,其特征在于,所述TTL接口主要用与机械手或分选机进行通讯,实现批量生产过程中的好坏分类。

7.根据权利要求1所述的一种多算法叠加判断高密度半导体芯片管脚变形的方法,其特征在于,所述PC端硬件采用一块视觉板卡,用来支持软件,PC端硬件采用FY3740的硬件板卡,结合PC软件一起对图像进行处理。

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