[发明专利]一种高精度XY移动平台及其实现方法

说明书

本发明提供了一种高精度XY移动平台及其实现方法，通过设置安装有第一驱动部件和第二驱动部件的X轴驱动机构和安装有第三驱动部件和第四驱动部件的Y轴驱动机构；所述第一驱动部件驱动所述滑块运动与第二驱动部件驱动所述滑块运动同向不同力；所述第三驱动部件驱动所述Y轴驱动机构运动与第四驱动部件驱动所述Y轴驱动机构运动同向不同力。由于第一驱动部件与第二驱动部件或者第三驱动部件和第四驱动部件始终控制驱动与滑块处于接触状态，且沿着一个方向运动，消除了来回运动过程中出现的空回现象，从而实现对滑块的高精度控制。

技术领域

本发明涉及精密定位设备技术领域，尤其涉及的是一种高精度XY移动平台及其实现方法。

背景技术

高精度马达的价格昂贵，且其实现较为困难，如显微镜的载玻片的精度控制，一方面需要精密适配，例如马达驱动丝杆，丝杆带动滑块，滑块与丝杆之间的间隙需要精确适配，然而两者的配合存在余度，尤其是在高精度驱动的要求之下，滑块与丝杆适配余度要小，而另一方面，余度过小时又会造成驱动的紧张度过大，磨损容易严重，导致使用寿命受限，更增加了成本。

现有的丝杆与滑块的适配总存在40-50个丝（一个丝等于10微米）的配合宽裕度，因此，在对滑块的高精度控制中，理想的配合无间隙是很难达到的，这样在滑块向一侧驱动时，马达驱动的控制可以很精确，但在向相反方向控制时，就会发现滑块与丝杆的配合宽裕度是影响精度的严重问题：由于配合宽裕度的存在，导致滑块存在一定的空回现象，导致在对马达的精确控制中很难实现对滑块的位置精确控制。

现有的XY移动平台中包括X轴控制方向的驱动马达和Y轴控制方向的驱动马达，因此两个驱动马达对滑块位置的精确控制也同样影响到整个XY移动平台对滑块位置的精确控制，如何克服马达控制滑块运动时产生的空回现象，提高滑块位置的精确控制是目前位置控制中需要解决的问题。

因此，现有技术有待于进一步的改进。

发明内容

鉴于上述现有技术中的不足之处，本发明的目的在于为用户提供一种高精度XY移动平台及其实现方法，克服现有技术中XY移动平台在驱动滑块运动时由于存在空回现象导致滑块位置无法精确控制的缺陷。

本发明所公开的技术方案如下：

一种高精度XY移动平台，其中，包括：X轴驱动机构和Y轴驱动机构；

所述Y轴驱动机构包括： Y轴导轨和滑块；所述X轴驱动机构包括：Y轴底座和X轴导轨；所述Y轴驱动机构设置在所述X轴驱动机构上方，所述X轴驱动机构驱动所述Y轴驱动机构带动所述滑块运动；

所述Y轴驱动机构还包括：

设置在所述Y轴导轨上方的第一驱动部件和第二驱动部件；所述第一驱动部件驱动所述滑块运动的方向与第二驱动部件驱动所述滑块运动的方向相反；且所述第一驱动部件在驱动滑块运动到Y轴导轨的终点后，采用先由第一驱动部件的阻抗并由第二驱动部件驱动消除空回，然后再由第二驱动部件驱动所述滑块运动；

所述X轴驱动机构包括：

设置在所述X轴导轨上方的第三驱动部件和第四驱动部件；所述第三驱动部件驱动所述Y轴驱动机构运动与第四驱动部件驱动所述Y轴驱动机构运动同向不同力。

可选的，所述第一驱动部件包括：设置在所述Y轴导轨上的第一丝杆和设置在所述第一丝杆一端侧的第一驱动电机；

所述第二驱动部件包括：设置在所述Y轴导轨上的第二丝杆和设置在所述第二丝杆一端侧的第二驱动电机；

所述第一驱动电机，用于当所述XY移动平台处于第一工位时，驱动所述第一丝杆运动；

所述第二驱动电机，用于当所述XY移动平台处于第二工位时，驱动所述第二丝杆运动；