[发明专利]磁传感器

说明书

本发明所涉及的磁传感器具备第1磁轭、第2磁轭、第1磁阻效应元件、第2磁阻效应元件、用于使电流流到第1以及第2磁阻效应元件的电流通路。第1以及第2磁轭分别接受包含平行于第1假想直线Lz的方向的输入磁场分量的输入磁场并产生输出磁场。输出磁场包含平行于与第1假想直线Lz相正交的第2假想直线Lx的方向的输出磁场分量。第1以及第2磁阻效应元件分别生成对应于第1以及第2磁轭所产生的输出磁场的输出磁场分量的检测值。第1以及第2磁轭分别导通于第1以及第2磁阻效应元件。

技术领域

本发明涉及设置成使用磁检测元件而能够检测磁检测元件具有灵敏度的方向以外的方向的磁场的磁传感器。

背景技术

近年来，对于手机等移动通信设备来说，有时候会纳入地磁传感器。对于这样的用途的地磁传感器来说，要求小型能够检测外部磁场的三维方向。这样的地磁传感器例如可使用磁传感器来实现。作为磁传感器，已知有使用了被设置于基板上的多个磁检测元件的磁传感器。作为磁检测元件，例如磁阻效应元件可被使用。

被设置于基板上的磁检测元件经常是以检测平行于基板的面的方向的磁场的方式被构成。在使用磁传感器来实现地磁传感器的情况下，需要能够检测垂直于基板的面的方向的磁场的磁传感器。

在日本专利国际公开第2011/068146号中记载有设置成使用检测平行于基板的面的方向的磁场的磁阻效应元件而能够检测垂直于基板的面的方向的磁场的磁传感器。该磁传感器具备将垂直于基板的面的方向的垂直磁场分量转换成平行于基板的面的方向的水平磁场分量并且将该水平磁场分量给予磁阻效应元件的软磁性体。

可是，在具备磁阻效应元件的磁传感器中，需要用于使电流流到磁阻效应元件的电流通路。

一直以来，如日本专利国际公开第2011/068146号所记载的磁传感器那样，在具备了磁阻效应元件和将垂直磁场分量转换成水平磁场分量的软磁性体的磁传感器中，软磁性体相对于磁阻效应元件以及电流通路被绝缘。在这样的结构的磁传感器中，为了做成软磁性体相对于磁阻效应元件以及电流通路被绝缘的结构，存在构成会变得复杂并且会有用于制造的工序变多的问题。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：国际公开第2011/068146号

发明内容

本发明的目的在于提供一种使用通过被通电来检测磁场的磁检测元件，能够检测磁检测元件具有灵敏度的方向以外的方向的磁场，并且能够使结构简单的磁传感器。

本发明的磁传感器具备由软磁性体构成的至少1个磁轭、至少1个磁检测元件和用于使电流流到至少1个磁检测元件的电流通路。至少1个磁轭接受包含平行于第1假想直线的方向的输入磁场分量的输入磁场并产生输出磁场。输出磁场包含根据输入磁场分量变化的输出磁场分量，其中该输出磁场分量是平行于与第1假想直线相交叉的第2假想直线的方向的输出磁场分量。至少1个磁检测元件由电流通路通电，并且接受输出磁场而生成对应于输出磁场分量的检测值，至少1个磁轭导通于至少1个磁检测元件。

在本发明的磁传感器中，第2假想直线也可以正交于第1假想直线。

另外，在本发明的磁传感器中，至少1个磁轭也可以构成电流通路的至少一部分。另外，至少1个磁轭也可以接触于至少1个磁检测元件。

另外，本发明的磁传感器也可以进一步具备由非磁性导电材料构成并连接至少1个磁轭和至少1个磁检测元件的至少1个导电层。