[发明专利]蒸发源和蒸镀装置

权利要求书

1.一种蒸发源，具备：

坩埚，收容要蒸镀于基板的材料；

加热体，以围绕所述坩埚的方式设置，加热该坩埚；以及

遮热构造体，以围绕所述加热体的方式设置，遮断热，

其特征在于，

该蒸发源具备：

冷却液室，以沿着所述遮热构造体的内壁面的方式设置在该遮热构造体的内部，且供冷却液流动；以及

排液管，设于所述冷却液室内，使冷却液从该冷却液室的下方排出。

2.根据权利要求1所述的蒸发源，其特征在于，

该蒸发源具备供给通路，该供给通路以从所述遮热构造体的底面到所述冷却液室内的方式设置，且供给冷却液。

3.根据权利要求1或2所述的蒸发源，其特征在于，

该蒸发源具备排出通路，该排出通路以从所述冷却液室内到所述遮热构造体的底面的方式设置，且排出冷却液，并且，

所述排液管的一端位于所述冷却液室内的上方，另一端连接于所述排出通路。

4.根据权利要求1或2所述的蒸发源，其特征在于，

设于所述排液管的一端侧的端面的开口部朝向上方。

5.根据权利要求1或2所述的蒸发源，其特征在于，

所述冷却液室由圆筒状的空间形成。

6.根据权利要求1或2所述的蒸发源，其特征在于，

所述冷却液室以在上下方向上分割的方式设置多个。

7.根据权利要求1或2所述的蒸发源，其特征在于，

所述遮热构造体以在周向上分割的方式设置多个，在各遮热构造体的内部分别具备冷却液室。

8.根据权利要求1或2所述的蒸发源，其特征在于，

在所述遮热构造体与所述加热体之间，设有使来自该加热体的热反射的反射体。

9.一种蒸镀装置，其特征在于，

该蒸镀装置具备：

权利要求1～8中任一项所述的蒸发源；以及

内部配置所述蒸发源的腔室。

10.根据权利要求9所述的蒸镀装置，其特征在于，

该蒸镀装置具备：

所述遮热构造体的载置台；

倾斜调整机构，调整所述遮热构造体相对于所述载置台的倾斜；

第1配管，以插通形成于所述腔室的第1插通孔内的方式设置，且供向所述冷却液室内供给的冷却液流动；

弹性体制的第1垫圈，密封第1配管与第1插通孔之间的环状间隙；

第2配管，以插通形成于所述腔室的第2插通孔内的方式设置，且供从所述冷却液室内排出的冷却液流动；以及

弹性体制的第2垫圈，密封第2配管与第2插通孔之间的环状间隙。

11.根据权利要求10所述的蒸镀装置，其特征在于，

所述倾斜调整机构由在各自的位置调整所述载置台与所述遮热构造体的间隔的多个螺纹零件构成。