[发明专利]一种褶皱状立体多孔ZnO薄膜及其制备方法有效
| 申请号： | 201811072745.3 | 申请日： | 2018-09-14 |
| 公开（公告）号： | CN109338339B | 公开（公告）日： | 2020-12-01 |
| 发明（设计）人： | 杨为家;刘俊杰;刘铭全;何鑫;刘志豪;刘艳怡;王诺媛;蒋庭辉;江嘉怡 | 申请（专利权）人： | 五邑大学 |
| 主分类号： | C23C18/12 | 分类号： | C23C18/12 |
| 代理公司： | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 | 代理人： | 梁嘉琦 |
| 地址： | 529000 广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 褶皱 立体 多孔 zno 薄膜 及其 制备 方法 | ||
1.一种褶皱状立体多孔ZnO薄膜的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：
(1)混合溶液A的制备：醋酸锌、聚乙二醇、乙醇按0.05-0.6g:0.05-0.6g:10-150mL的比例混合，搅拌，获得混合溶液A，备用；
(2)混合薄膜B的制备：将基板加热，将步骤(1)制备的混合溶液A喷到基板上，获得醋酸锌和聚乙二醇的混合薄膜B，备用；
(3)高温烧结处理：将步骤(2)制备的混合薄膜B加热并保温一段时间，然后降温，即获得所述褶皱状立体多孔ZnO薄膜；
步骤(1)中的搅拌是在30-80℃下搅拌30-120分钟；
步骤(2)中基板加热到120-300℃；
步骤(3)中将步骤(2)制备的混合薄膜B以每分钟10-60℃的升温速率加热至550-1200℃并保温40-180分钟。
2.根据权利要求1所述的褶皱状立体多孔ZnO薄膜的制备方法，其特征在于，步骤(1)中醋酸锌、聚乙二醇、乙醇按0.1-0.4g:0.1-0.4g:20-120mL的比例混合。
3.根据权利要求1所述的褶皱状立体多孔ZnO薄膜的制备方法，其特征在于，步骤(2)中所述基板为硅片、蓝宝石、金属或玻璃中的一种。
4.根据权利要求1或3所述的褶皱状立体多孔ZnO薄膜的制备方法，其特征在于，所述基板的尺寸为2cm×2cm至80cm×80cm。
5.根据权利要求1所述的褶皱状立体多孔ZnO薄膜的制备方法，其特征在于，步骤(2)中使用喷枪将步骤(1)制备的混合溶液A喷到基板上，喷枪的压力为1-7KG，喷射的时间为10-50s。
6.一种褶皱状立体多孔ZnO薄膜，其特征在于，由权利要求1-5中任一项所述的制备方法制备得到。
7.一种褶皱状立体多孔ZnO薄膜的应用，其特征在于，根据权利要求6所述的褶皱状立体多孔ZnO薄膜应用于气敏探测器或光催化降解。
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C23C18-00 通过液态化合物分解抑或覆层形成化合物溶液分解、且覆层中不留存表面材料反应产物的化学镀覆
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