[发明专利]一种转移并便于LED芯片固定的吸嘴及单颗LED芯片转移、固定于背板的方法在审

专利信息
申请号: 201811072810.2 申请日: 2018-09-14
公开(公告)号: CN110911331A 公开(公告)日: 2020-03-24
发明(设计)人: 洪秀龄;江宗瀚;黄士恺;林峻峣;黄昭铭 申请(专利权)人: 东莞市中麒光电技术有限公司
主分类号: H01L21/683 分类号: H01L21/683;H01L33/00
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 523500 广东省东莞市东*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 转移 便于 led 芯片 固定 背板 方法
【说明书】:

发明公开了一种转移并便于LED芯片固定的吸嘴及其使用方法,所述的吸嘴在吸附LED芯片时,通过吸嘴内外气体压力差吸住LED芯片,所述吸嘴包括上底、下底及侧壁,上底、下底均为玻璃材质,侧壁带有弹性形变。本方法转移LED芯片主要用于LED芯片批量转移中对不良处进行返工,以此来提高LED芯片向背板转移的良率,本产品结构简单,使用方法简便。

技术领域

本发明涉及LED芯片转移技术及其工具。更具体地说,本发明涉及转移并便于 LED芯片固定的吸嘴及单颗LED芯片转移及固定于背板的方法。

背景技术

LED的生产技术日趋成熟,不管是普通LED芯片还是Mini LED芯片、Micro LED芯片,目前其生产技术已经不再是任何LED企业的难题所在。各企业技术的不断提升,水涨船高,LED芯片的光效也相应得到提高,单位面积的外延片可切割的芯片数量不断增加,以至于芯片的成本随着下降,价格也逐年成下降趋势,淘汰了低端产能,由于LED芯片高端产能紧缺,自2016年以来中小尺寸的LED芯片却在持续提价。随着国内政府、企业对LED技术研发、生产投入大量的人力、财力成果显著,近来海外企业在LED芯片领域的竞争力已经呈现落后国内企业的状态,海外LED芯片企业减产,如三星、LG、Cree等部分产能的关停,国内LED芯片在全球的市场占有率得于持续提升,海外订单纷纷向国内转移,这是国内企业前期投入的必然结果,这一转移将是消化国内新增产能的另一重要途径。

LED芯片的生产技术对国内企业来说已经趋于成熟,但对于微型LED芯片转移技术,仍处于起步阶段,现有的转移技术主要集中在LuxVue、X-celeprint、eLux、Uniqarta、QMAT等海外企业手中,国内企业要想在转移技术上不受他们的牵制,必须要开发出属于自己的技术。

发明内容

本发明的目的是提供一种转移并便于 LED芯片固定的吸嘴,用于LED芯片的转移,以及转移至背板后与背板上的±接触点熔合固定。所述的吸嘴结构简单,易于生产,并且方便使用。

本发明的另一个目的是提供一种单颗LED芯片转移、固定于背板的方法,方法简便,易于实际制程中对于背板中有缺陷的LED芯片进行替换操作。提高了LED芯片固定于背板的良率。

为了实现根据本发明的目的和其它优点,本发明提供了一种转移并便于 LED芯片固定的吸嘴,所述的吸嘴在吸附LED芯片时,通过吸嘴内外气体压力差吸住LED芯片,所述吸嘴包括上底、下底及侧壁,上底、下底均为玻璃材质,侧壁带有弹性形变:上底、下底分别为第一玻璃底面、第二玻璃底面,第一玻璃底面面积≥第二玻璃底面面积,第二玻璃底面面积>LED芯片面积,第二玻璃底面设有一个气孔,孔径<芯片发光面最小边长;吸嘴以第一玻璃、第二玻璃作为上下底面,以带有弹性形变的侧壁为侧壁,侧壁与第一玻璃底面、第二玻璃底面密封固定连接;第一玻璃底面、第二玻璃底面、带有弹性形变侧壁构成吸嘴,且在第一玻璃底面、第二玻璃底面、带有弹性形变侧壁内部构成气体空腔。第二玻璃底面所设的气孔,用于吸嘴内部气体与外界气体的流通,通过给侧壁弹性形变部位一个外力,使其产生形变,使吸嘴腔体内的气体向外界流动,而外力撤销或减弱,侧壁弹性形变部位需要向原状态恢复,吸嘴产生负压,则需通过气孔吸收外界空气,使压力平衡,此时把气孔对准LED芯片,LED芯片堵住气孔,吸嘴对LED芯片产生吸力,从而可以通过移动吸嘴来转移LED芯片,当LED芯片放置入预订位置,完成LED芯片的转移。若此时利用激光透过第一玻璃底面、第二玻璃底、LED芯片,使LED芯片上的P\N电极与背板上的±极接点熔合,只需对侧壁的弹性形变部位再次施压力或加大压力即可使吸嘴与LED芯片分离。

本发明所述的转移并便于 LED芯片固定的吸嘴,其中所述的第一玻璃、第二玻璃均为透明玻璃。

本发明所述的转移并便于 LED芯片固定的吸嘴,其中所述第一玻璃底面与第二玻璃底面平行且两者相对位置固定。

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