[发明专利]具有改进的应变仪的压力传感器有效
申请号: | 201811073961.X | 申请日: | 2018-09-14 |
公开(公告)号: | CN109506826B | 公开(公告)日: | 2022-01-14 |
发明(设计)人: | 霍史红;E·A·沃尔夫;N·S·彼得拉卡 | 申请(专利权)人: | 森萨塔科技公司 |
主分类号: | G01L9/00 | 分类号: | G01L9/00;G01L19/00 |
代理公司: | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人: | 李东晖 |
地址: | 美国马*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 具有 改进 应变 压力传感器 | ||
1.一种用于感测来自流体介质的流体压力的装置,其包括:
端口本体,所述端口本体具有围绕内部通道以用于接收来自流体介质的流体的外围壁,所述内部通道在流体介质和所述端口本体上的膜片之间延伸;
通过玻璃基板固定至所述端口本体的应变仪,所述应变仪包括:
电连接在第一输入/输出焊盘和接地焊盘之间的第一电阻器;
电连接在第二输入/输出焊盘和接地焊盘之间的第二电阻器;
电连接在第三输入/输出焊盘和接地焊盘之间的第三电阻器;以及
电连接在第四输入/输出焊盘和接地焊盘之间的第四电阻器;
四个电流源,每个电流源都向一个输入/输出焊盘提供均匀、恒定的电流;
电连接在第一输入/输出焊盘和第二输入/输出焊盘之间以用于测量电压的第一输出部;以及电连接在第三输入/输出焊盘和第四输入/输出焊盘之间以用于测量电压的第二输出部,
其中:每个电阻器与接地焊盘基本等距地间隔开,以促成在电阻器上的均匀的移动离子累积;并且当膜片受到来自流体的压力时:第二电阻器和第三电阻器承受张力;并且第一电阻器和第四电阻器承受压缩力。
2.一种用于感测来自流体介质的流体压力的装置,其包括:
端口本体,所述端口本体具有围绕内部通道的外围壁,所述内部通道在端口本体上的膜片和用于接收流体的开口之间延伸;以及
设置在端口本体上的应变仪,所述应变仪包括:
电连接在第一输入/输出焊盘和接地焊盘之间的第一电阻器;
电连接在第二输入/输出焊盘和接地焊盘之间的第二电阻器;
电连接在第三输入/输出焊盘和接地焊盘之间的第三电阻器;以及
电连接在第四输入/输出焊盘和接地焊盘之间的第四电阻器,
其中,每个电阻器与接地焊盘基本等距,以减少移动离子迁移,其中:第一电阻器和第四电阻器邻近外围壁定位,并且第二电阻器和第三电阻器邻近膜片定位,使得内部通道中的流体促使第一电阻器和第四电阻器承受压缩且同时第二电阻器和第三电阻器承受张力。
3.如权利要求2所述的装置,其中,通过每个电阻器同时地施加均匀的输入。
4.如权利要求2所述的装置,其中:
第一输入/输出焊盘和第二输入/输出焊盘设置在接地焊盘的第一侧上;并且第三输入/输出焊盘和第四输入/输出焊盘设置在接地焊盘的第二侧上。
5.如权利要求2所述的装置,其中,电阻器是压阻元件。
6.一种用于感测来自流体介质的流体压力的装置,其包括应变仪,所述应变仪包括:
电连接在第一输入/输出焊盘和接地焊盘之间的第一电阻器;
电连接在第二输入/输出焊盘和接地焊盘之间的第二电阻器;
电连接在第一输入/输出焊盘和第二输入/输出焊盘之间的第一输出部;
与第二电阻器形成第一电阻器对的第三电阻器;以及
与第一电阻器形成第二电阻器对的第四电阻器,其中,第一电阻器和第二电阻器与接地焊盘间隔开,以促成在第一电阻器和第二电阻器上的均匀的移动离子累积;并且第一电阻器对和第二电阻器对关于横向轴线对称,
其中:第一电阻器和第四电阻器邻近围绕内部通道的端口本体的外围壁定位,使得内部通道中的流体促使第一电阻器和第四电阻器承受压缩力;并且第二电阻器和第三电阻器邻近端口本体内的膜片定位,所述膜片暴露于内部通道,使得内部通道中的流体促使第二电阻器和第三电阻器承受张力。
7.如权利要求6所述的装置,其中,通过第一电阻器和第二电阻器施加恒定电流,所述恒定电流是均匀的。
8.如权利要求7所述的装置,其中:
所述恒定电流经由第一输入/输出焊盘施加至第一电阻器;
所述恒定电流经由第二输入/输出焊盘施加至第二电阻器;并且
由输出部测量第一输入/输出焊盘和第二输入/输出焊盘之间的电压变化。
9.如权利要求6所述的装置,其中,通过第一电阻器和第二电阻器施加恒定电压,所述恒定电压是均匀的。
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