[发明专利]一种基于损耗检测的声表面波压力传感器

权利要求书

1.一种基于损耗检测的声表面波压力传感器的工作方法，其特征在于：基于损耗检测的声表面波压力传感器包括基片(1)、叉指换能器(2)、第一金属反射栅阵(3)和第二金属反射栅阵(4)；

基片(1)上中心位置处设置有叉指换能器(2)，叉指换能器(2)的一侧设置有第一金属反射栅阵(3)，另一侧设置有第二金属反射栅阵(4)，叉指换能器(2)和第一金属反射栅阵(3)之间形成第一间隔(5)，叉指换能器(2)和第二金属反射栅阵(4)形成第二间隔(6)；所述叉指换能器(2)两端汇流条处均连接输出引线；

将所述压力传感器放置在待测气体压力环境中，无需气密性封装的压力参考腔，激励的声表面波的部分能量传递给气体，形成的“气体负载”会引起器件损耗的改变，通过检测不同气压环境中传感器损耗的变化，实现对外界压力的测量。

2.根据权利要求1所述的一种基于损耗检测的声表面波压力传感器的工作方法，其特征在于：所述基片(1)为ST-X石英基片、AT-X石英基片、ZX-LiNbO₃基片、YZ-LiNbO₃基片、128°YX-LiNbO₃基片或X-112°Y-LiTaO₃基片。

3.根据权利要求1所述的一种基于损耗检测的声表面波压力传感器的工作方法，其特征在于：所述叉指换能器(2)、第一金属反射栅阵(3)和第二金属反射栅阵(4)能够加权。

4.根据权利要求3所述的一种基于损耗检测的声表面波压力传感器的工作方法，其特征在于：所述加权规则包括如下三种：

i.仅叉指换能器(2)加权；

ii.仅第一金属反射栅阵(3)和第二金属反射栅阵(4)加权，且两者加权函数一致；

iii.叉指换能器(2)、第一金属反射栅阵(3)和第二金属反射栅阵(4)同时加权，此时第一金属反射栅阵(3)和第二金属反射栅阵(4)加权函数一致。

5.根据权利要求1所述的一种基于损耗检测的声表面波压力传感器的工作方法，其特征在于：所述叉指换能器(2)、第一金属反射栅阵(3)、第二金属反射栅阵(4)的金属化比相等。

6.根据权利要求5所述的一种基于损耗检测的声表面波压力传感器的工作方法，其特征在于：所述金属化比为0.1-0.6。

7.根据权利要求1所述的一种基于损耗检测的声表面波压力传感器的工作方法，其特征在于：所述第一间隔(5)和第二间隔(6)相等。

8.根据权利要求7所述的一种基于损耗检测的声表面波压力传感器的工作方法，其特征在于：所述第一间隔(5)为叉指换能器(2)波长的0.25-2.5倍。

9.根据权利要求1所述的一种基于损耗检测的声表面波压力传感器的工作方法，其特征在于：所述第一金属反射栅阵(5)和第二金属反射栅阵(6)的同步频率相同，为叉指换能器(2)同步频率的0.95-1.05倍。

10.根据权利要求1所述的一种基于损耗检测的声表面波压力传感器的工作方法，其特征在于：所述第一金属反射栅阵(5)和第二金属反射栅阵(6)均与叉指换能器(2)平行。