[发明专利]一种具有自洁功能的梳齿驱动器有效
| 申请号： | 201811077408.3 | 申请日： | 2018-09-15 |
| 公开（公告）号： | CN109256979B | 公开（公告）日： | 2020-01-21 |
| 发明（设计）人： | 宋秀敏;夏长锋;何伟;乔大勇 | 申请（专利权）人： | 西安知微传感技术有限公司 |
| 主分类号： | H02N2/00 | 分类号： | H02N2/00 |
| 代理公司： | 61211 西安智邦专利商标代理有限公司 | 代理人： | 汪海艳 |
| 地址： | 710077 陕西省西安市高新区*** | 国省代码： | 陕西;61 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 梳齿驱动器 驱动梳齿 吸附电极 自洁功能 电极 负电平信号 电极接地 封闭外壳 颗粒沉积 硅衬底 绝缘槽 微机电 正电平 隔离 | ||
1.一种具有自洁功能的梳齿驱动器，包括封闭外壳(1)、硅衬底(6)及驱动梳齿(2)，其特征在于：
还包括设置在硅衬底(6)上的吸附电极(3)，所述吸附电极(3)包括至少一对电极对，其中一个电极接地，另一个电极接正电平或负电平信号；吸附电极(3)电极对中的其中一个电极包括电极本体、活动梁及活动梁支撑锚点；电极本体通过活动梁与支撑锚点固连；
吸附电极(3)与驱动梳齿(2)之间通过绝缘槽(4)隔离，吸附电极(3)与驱动梳齿(2)均位于封闭外壳(1)内部。
2.根据权利要求1所述的具有自洁功能的梳齿驱动器，其特征在于：吸附电极(3)包围或部分包围驱动梳齿(2)。
3.根据权利要求2所述的具有自洁功能的梳齿驱动器，其特征在于：吸附电极(3)中的电极对为简单线型、波浪线型、折线型或交错齿型。
4.根据权利要求3所述的具有自洁功能的梳齿驱动器，其特征在于：当吸附电极(3)中的电极对为交错齿型时，吸附电极的齿间距不小于驱动梳齿的梳齿间距。
5.根据权利要求3所述的具有自洁功能的梳齿驱动器，其特征在于：吸附电极(3)电极对中的两个电极相对于驱动梳齿(2)所在平面的高度不同。
6.根据权利要求5所述的具有自洁功能的梳齿驱动器，其特征在于：利用刻蚀方法在硅衬底上形成吸附电极(3)。
7.根据权利要求1所述的具有自洁功能的梳齿驱动器，其特征在于：吸附电极(3)的材料与驱动梳齿(2)的材料相同。
8.根据权利要求1所述的具有自洁功能的梳齿驱动器，其特征在于：驱动梳齿(2)包括静梳齿及其锚点(21)、与静梳齿配合的动梳齿(22)、与动梳齿(22)相连的可动质量块(24)、支撑可动质量块(24)运动的活动梁及其支撑锚点(23)。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于西安知微传感技术有限公司，未经西安知微传感技术有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201811077408.3/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
