[发明专利]托架机构及反应腔室

权利要求书

1.一种托架机构，其特征在于，所述托架机构包括：

托盘，所述托盘用于承载遮蔽盘，且能移动至位于反应腔室内的基座上方的遮蔽位置，或者移动至远离所述基座的非遮蔽位置，所述托盘中设有第一冷却通道；

托架臂，所述托架臂与所述托盘连接，且所述托架臂中设有第二冷却通道，所述第二冷却通道与所述第一冷却通道相连通。

2.根据权利要求1所述的托架机构，其特征在于，所述第一冷却通道包括多个冷却子通道，多个所述冷却子通道在所述托盘中间隔分布，且多个所述冷却子通道相互连通。

3.根据权利要求2所述的托架机构，其特征在于，多个所述冷却子通道在所述托盘的承载面上的正投影形状为环形，且沿所述托盘的承载面的径向间隔设置。

4.根据权利要求2所述的托架机构，其特征在于，所述第一冷却通道还包括入口通道、出口通道和连接通道，其中，所述连接通道用于将多个所述冷却子通道连通；所述入口通道的第一端与任意一个所述冷却子通道连通；所述出口通道的第一端与任意一个所述冷却子通道连通。

5.根据权利要求4所述的托架机构，其特征在于，所述第二冷却通道包括引入通道和导出通道，所述入口通道的第二端与所述引入通道连通，所述出口通道的第二端与所述导出通道连通。

6.根据权利要求5所述的托架机构，其特征在于，所述托架机构还包括：进口连接管和出口连接管，其中，所述进口连接管的第一端与所述引入通道连通，所述进口连接管的第二端用于与冷却介质源连接；所述出口连接管的第一端与所述导出通道连通，所述出口连接管的第二端用于与冷却介质收集装置连接。

7.根据权利要求6所述的托架机构，其特征在于，所述托架机构还包括：旋转轴和电机，其中，所述旋转轴用于竖直设置在所述反应腔室中；所述托架臂分别与所述旋转轴和所述托盘固定连接；所述电机用于驱动所述旋转轴旋转。

8.根据权利要求7所述的托架机构，其特征在于，所述托盘为圆形，和/或所述进口连接管和所述出口连接管均为金属软管。

9.一种反应腔室，包括腔室本体，其特征在于，还包括如权利要求1-8任意一项所述的托架机构，用于对所述腔室本体中的遮蔽盘进行冷却。

10.根据权利要求9所述的反应腔室，其特征在于，所述腔室本体中设置有能够升降的三个顶针，且三个所述顶针沿所述基座的周向均匀分布；

当所述托盘移动至所述基座上方的遮蔽位置时，所述托盘的圆心和所述基座的中心同轴设置；

沿所述基座的中心和所述顶针的连线方向，所述托盘的外边缘与所述顶针具有预设间隙。