[发明专利]一种磁控溅射镀膜阴极结构有效
| 申请号： | 201811082185.X | 申请日： | 2018-09-17 |
| 公开（公告）号： | CN108977787B | 公开（公告）日： | 2019-10-18 |
| 发明（设计）人： | 孙德恩;陈宏 | 申请（专利权）人： | 重庆大学 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 尹秀;王宝筠 |
| 地址： | 400044 *** | 国省代码： | 重庆;50 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 磁场产生结构 磁性部件 励磁线圈 铁芯 环形磁场 磁场 磁控溅射镀膜 阴极结构 衰减 缠绕 靶材结构 依次层叠 质量下降 中心区域 背板 镀膜 | ||
1.一种磁控溅射镀膜阴极结构，其特征在于，包括：依次层叠的靶材结构、背板和磁性部件；
所述靶材结构包括第一靶材以及位于所述第一靶材背离所述背板一侧的至少一个第二靶材，所述第一靶材和所述第二靶材的材料磁性相同，所述第二靶材覆盖所述第一靶材位于跑道区的部分表面，所述靶材结构工作时形成有一跑道区；
所述磁性部件包括第一磁场产生结构和第二磁场产生结构，所述第一磁场产生结构为环形磁场结构，所述第二磁场产生结构位于所述环形磁场结构的中心区域，所述第一磁场产生结构和所述第二磁场产生结构形成一环形磁场区域，所述环形磁场区域与所述跑道区的形状相同；
其中，所述第一磁场产生结构包括第一铁芯以及缠绕在所述第一铁芯外表面的第一励磁线圈；所述第二磁场产生结构包括第二铁芯以及缠绕在所述第二铁芯外表面的第二励磁线圈；所述第一励磁线圈和所述第二励磁线圈为纯励磁线圈。
2.根据权利要求1所述的阴极结构，其特征在于，所述环形磁场区域为圆环形区域，所述靶材结构位于所述环形磁场区域内的部分为圆环形结构。
3.根据权利要求1所述的阴极结构，其特征在于，所述第一励磁线圈由漆包线构成；所述第二励磁线圈由漆包线构成。
4.根据权利要求1所述的阴极结构，其特征在于，所述第一铁芯为无铁损铁芯；所述第二铁芯为无铁损铁芯。
5.根据权利要求1所述的阴极结构，其特征在于，所述背板为铜背板。
6.根据权利要求5所述的阴极结构，其特征在于，还包括：
位于所述第一磁场产生结构与所述第二磁场产生结构之间的冷却装置。
7.根据所述权利要求6所述的阴极结构，其特征在于，所述冷却装置为循环水冷却装置。
8.根据权利要求1所述的阴极结构，其特征在于，所述第一靶材背离所述背板一侧具有多个所述第二靶材，所述第二靶材在所述跑道区均匀分布。
9.根据权利要求8所述的阴极结构，其特征在于，所述第二靶材为金属圆片结构，所述第二靶材的直径与所述跑道区的宽度相同。
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