[发明专利]衍射光学元件

权利要求书

1.一种衍射光学元件，包括：

子波长周期叠层-间隙结构层，在一波长下提供透射相位延迟，

其中子波长周期叠层-间隙结构层包括一组薄抗反射层，该组薄抗反射层在子波长周期的填充因子范围内与环境或基底折射率匹配，和

其中，所述填充因子范围在包括子波长周期的周期内变化。

2.如权利要求1所述的衍射光学元件，其中该组薄抗反射层在子波长周期的填充因子范围内与环境和基底折射率匹配。

3.如权利要求1所述的衍射光学元件，其中该组薄抗反射层包括薄膜层。

4.如权利要求1所述的衍射光学元件，其中叠层-间隙结构层沿与基底的顶表面共面的单个维度构造出齿形。

5.如权利要求1所述的衍射光学元件，其中叠层-间隙结构层沿与基底的顶表面共面的两个维度构造出齿形。

6.如权利要求1所述的衍射光学元件，其中叠层-间隙结构层包括间隔层；和

其中透射相位延迟对应于间隔层的厚度。

7.如权利要求6所述的衍射光学元件，其中间隔层是薄膜层。

8.如权利要求1所述的衍射光学元件，其中衍射光学元件的透射效率在填充因子的所述范围内大于85％。

9.如权利要求1所述的衍射光学元件，其中衍射光学元件的透射效率在填充因子的所述范围内大于95％。

10.如权利要求1所述的衍射光学元件，其中叠层-间隙结构层包括至少一个硅层和至少一个二氧化硅层。

11.如权利要求1所述的衍射光学元件，其中衍射光学元件在所述波长下具有偏振无关性。

12.如权利要求1所述的衍射光学元件，其中叠层-间隙结构层的一些区域之间的最大透射相位延迟大于或等于2π。

13.如权利要求1所述的衍射光学元件，其中叠层-间隙结构层的一些区域之间的最大透射相位延迟大于或等于4π。

14.如权利要求1所述的衍射光学元件，其中叠层-间隙结构层设置在基底的第一表面上；和

其中在所述波长下提供另一透射相位延迟的另一子波长周期叠层-间隙结构层设置在基底的第二表面上，且

其中所述另一子波长周期叠层-间隙结构层包括另一组薄抗反射层，该另一组薄抗反射层在子波长周期的填充因子的所述范围内与环境或基底折射率匹配。

15.如权利要求1所述的衍射光学元件，其中填充材料至少部分地覆盖叠层-间隙结构层。

16.一种衍射光学元件，包括：

层的叠层，包括一组抗反射层，

其中层的所述叠层对一波长透射，

其中层的所述叠层的宽度被分为一组周期，

其中该组周期中的每一个周期的宽度比所述波长短，

其中该组周期中的一周期具有填充因子，该填充因子在该周期中限定了间隙的宽度，

其中不同周期的填充因子不同，

其中间隙的深度延伸经过层的所述叠层且经过该组抗反射层，

其中该组周期中的每一个周期在所述波长下提供与相应填充因子关联的相位延迟，

其中，在不同填充因子的范围内，该组抗反射层与间隙中的环境或与基底折射率匹配，和

其中，所述不同填充因子的范围在包括该组周期的波长周期内变化。

17.如权利要求16所述的衍射光学元件，其中该组抗反射层形成至少两个抗反射结构。