[发明专利]一种导电薄膜的溅镀成型装置

说明书

本发明属于溅镀成型技术领域，具体的说是一种导电薄膜的溅镀成型装置，包括装置本体、桌体、桌腿、支撑块、桌台、真空封闭室、第一隔板、第二隔板、第三隔板、放卷室、溅镀室、加热室、收卷室、放卷辊、薄膜基材、传送辊、导电薄膜、传送速度限定辊、溅镀室隔板、收卷室隔板、收卷辊、薄膜传送辊筒、金属靶材阴极、电浆处理器、第一隔离板、第二隔离板、第三隔离板、第四隔离板、垂直限位辊、加热器、加热板、制冷器和制冷板，所述装置本体包括桌体，本发明设置有第一隔离板、第二隔离板、第三隔离板、第四隔离板和电浆处理器，从而在进行溅镀工作时可保证导电薄膜的溅镀稳定性，从而保证了装置的成品质量。

技术领域

本发明属于溅镀成型技术领域，具体的说是一种导电薄膜的溅镀成型装置。

背景技术

导电薄膜有键盘等输入器件的多层薄膜，也有为单层的，半导电薄膜只有半绝缘多晶硅薄膜，半导体薄膜主要有外延生长的Si单晶薄膜和CVD生长的掺杂多晶硅薄膜、半绝缘多晶硅薄膜，绝缘体薄膜主要有氧化硅薄膜、氮化硅薄膜等。金属薄膜主要有Al、Au等的薄膜，工艺中用到的薄膜技术光刻胶薄膜，制作电路的基材应采用聚酯薄膜，它具有良好的绝缘性和耐热性，具有较高的机械强度、透明性和气密性，特别具有抗折性和高弹性，是制作薄膜键盘电路的理想材料。

传统的溅镀装置和热处理装置各为一种独立装置，因此装置整体占地面积较大，增加了装置的操作难度，不便于使用者操纵，传统的溅镀装置在加热室内部也是采用传送装置传送，容易导致导电薄膜在加热时被外力拉伸变形，从而影响导电薄膜的产品质量，传统的溅镀装置在溅镀过程中有可能导致溅镀成型的不均匀，从而降低了装置的溅镀效果。

发明内容

本发明的目的在于提供一种导电薄膜的溅镀成型装置，设置有第一隔板、第二隔板、第三隔板、溅镀室、加热室、溅镀室隔板、收卷室隔板、薄膜传送辊筒、金属靶材阴极、加热器、加热板、制冷器和制冷板，从而可使溅镀装置和加热装置位于同一台机器上，从而减小了装置的占地面积、简化了操作程序，更加方便操作者的使用，本装置设置有传送速度限定辊、加热室和垂直限位辊，从而可使导电薄膜在加热室内部可以进行无重力垂直悬挂，在进行加热功能时不会受到传送的拉力作用，从而保证了导电薄膜在加热成型时的稳定性，本装置设置有第一隔离板、第二隔离板、第三隔离板、第四隔离板和电浆处理器，从而在进行溅镀工作时可保证导电薄膜的溅镀稳定性，从而保证了装置的成品质量。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种导电薄膜的溅镀成型装置，包括装置本体，所述装置本体包括桌体，所述桌体顶部固定安装有桌台，所述桌台顶部固定安装有真空封闭室，所述真空封闭室内部底板顶部固定安装有第一隔板、第二隔板和第三隔板，所述第一隔板、所述第二隔板和所述第三隔板依次安装在所述真空封闭室内部，所述第一隔板与所述真空封闭室一侧内壁之间形成放卷室，所述第一隔板和所述第二隔板之间形成溅镀室，所述第二隔板和所述第三隔板之间形成加热室，所述第三隔板和所述真空封闭室内部另一侧内壁之间形成收卷室，所述放卷室内部设置有放卷辊，所述放卷辊上缠绕有薄膜基材，所述放卷室内部设置有若干个传送辊，所述放卷辊与相邻的一个所述传送辊之间通过薄膜基材连接，所述溅镀室内部设置有薄膜传送辊筒，所述薄膜传送辊筒四侧设置有若干个金属靶材阴极，所述加热室内部设置有若干个加热器和制冷器，所述第二隔板和所述第三隔板的顶部一端分别固定安装有溅镀室隔板和收卷室隔板，所述收卷室内部设置有收卷辊，所述收卷辊与所述传送辊之间通过导电薄膜连接。

具体的，所述真空封闭室内部包括放卷室、溅镀室、加热室和收卷室内部都设置有若干个位置数量不一的各种传送辊，若干个传送辊之间均通过薄膜基材或者导电薄膜连接。

具体的，所述桌体底部四角处均固定安装有桌腿，桌腿底部均设置有支撑块，支撑块顶部与桌腿底部之间固定连接。

具体的，所述薄膜传送辊筒与相邻的两个传送辊之间分别通过薄膜基材和导电薄膜连接，薄膜传送辊筒位于第一隔板和第二隔板的中间部分。