[发明专利]一种耐高温太阳能选择性吸收涂层及其制备方法有效
| 申请号： | 201811089579.8 | 申请日： | 2018-09-18 |
| 公开（公告）号： | CN109282514B | 公开（公告）日： | 2020-10-02 |
| 发明（设计）人： | 邹长伟;田灿鑫;王泽松;李松权 | 申请（专利权）人： | 岭南师范学院 |
| 主分类号： | F24S70/225 | 分类号： | F24S70/225;C23C14/35 |
| 代理公司： | 广州粤高专利商标代理有限公司 44102 | 代理人： | 刘瑶云;陈伟斌 |
| 地址： | 524048 广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 耐高温 太阳能 选择性 吸收 涂层 及其 制备 方法 | ||
1.一种耐高温太阳能选择性吸收涂层，其特征在于，所述耐高温太阳能选择性吸收涂层由基体到涂层表面依次设置有红外反射层、吸收层和减反层，所述吸收层包括高金属体积分数复合层HMVF和低金属体积分数复合层LMVF，所述高金属体积分数复合层HMVF和低金属体积分数复合层LMVF由MoSi2层和Si3N4层交替沉积而得，所述高金属体积分数复合层HMVF的MoSi2填充系数为40～60％，所述低金属体积分数复合层LMVF的MoSi2填充系数为10～20％。
2.根据权利要求1所述耐高温太阳能选择性吸收涂层，其特征在于，所述高金属体积分数复合层HMVF中，单层MoSi2层的厚度为5～15nm，单层Si3N4层的厚度为15～25nm。
3.根据权利要求1所述耐高温太阳能选择性吸收涂层，其特征在于，所述低金属体积分数复合层中，单层MoSi2层的厚度为2～6nm，单层Si3N4层的厚度为20～30nm。
4.根据权利要求1所述耐高温太阳能选择性吸收涂层，其特征在于，所述吸收层总厚度为60～250nm。
5.根据权利要求1所述耐高温太阳能选择性吸收涂层，其特征在于，使用Ag作为红外反射层；所述红外反射层的厚度为80～120nm。
6.根据权利要求1所述耐高温太阳能选择性吸收涂层，其特征在于，使用Si3N4作为减反层，所述减反层的厚度为40～60nm。
7.根据权利要求1所述耐高温太阳能选择性吸收涂层，其特征在于，所述耐高温太阳能选择性吸收涂层的结构为Ag/MoSi2-Si3N4/MoSi2-Si3N4/Si3N4。
8.权利要求1～7任一所述耐高温太阳能选择性吸收涂层的制备方法，其特征在于，所述方法如下：
采用物理气相沉积法依次在基体表面沉积红外反射层、高金属体积分数复合层HMVF、低金属体积分数复合层LMVF和减反层。
9.根据权利要求8所述的制备方法，其特征在于，所述物理气相沉积法为磁控溅射法。
10.权利要求1～7任一所述耐高温太阳能选择性吸收涂层在太阳能热水器中的应用。
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