[发明专利]一种新型石英玻璃摆片在审

专利信息
申请号: 201811091060.3 申请日: 2018-09-19
公开(公告)号: CN109100536A 公开(公告)日: 2018-12-28
发明(设计)人: 李立勇;杨稳;聂鲁燕;侯文超;王宪东 申请(专利权)人: 中国船舶重工集团公司第七0七研究所
主分类号: G01P15/125 分类号: G01P15/125;G01P15/13
代理公司: 天津盛理知识产权代理有限公司 12209 代理人: 王倩
地址: 300131 天*** 国省代码: 天津;12
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摘要:
搜索关键词: 圆形支撑环 挠性支撑 石英玻璃摆片 隔离槽 通气孔 安装定位 凸台 石英加速度计 长期稳定性 温度敏感性 传统结构 垂直轴线 对称分布 加速度计 开口方向 同轴设置 中心同轴 轴线设置 装配过程 自由摆动 左右对称 摆组件 成活率 对称 开口 并列 应用
【权利要求书】:

1.一种新型石英玻璃摆片,包括一个圆形支撑环、两个挠性支撑梁和一个自由摆动的摆舌,两个挠性支撑梁并列对称于轴线设置,摆舌通过挠性支撑梁和圆形支撑环连接,圆形支撑环上有三个安装定位凸台,该三个安装定位凸台沿垂直轴线对称分布,圆形支撑环的中心同轴制出一个通气孔,其特征在于:在通气孔和挠性支撑梁之间的圆形支撑环上制出一个隔离槽,该隔离槽与通气孔同轴设置,该隔离槽上制出开口,该开口方向远离两个挠性支撑梁,并且保持左右对称。

2.根据权利要求1所述的一种新型石英玻璃摆片,其特征在于:所述的石英摆片整体呈圆形片状,直径为φ15mm–φ23mm,厚度为0.6mm–0.8mm。

3.根据权利要求1所述的一种新型石英玻璃摆片,其特征在于:所述的石英摆片由熔融石英玻璃经过研磨抛光、切割落料、化学刻蚀以及真空镀膜等多道工序加工而成。

4.根据权利要求1所述的一种新型石英玻璃摆片,其特征在于:所述的挠性支撑梁厚度约为0.03mm。

5.根据权利要求1所述的一种新型石英玻璃摆片,其特征在于:所述的隔离槽呈半圆状或大半圆状,并且包围通气孔,包围角度一般大于或等于180°。

6.根据权利要求1所述的一种新型石英玻璃摆片,其特征在于:所述的隔离槽直径应根据实际情况满足力矩线圈和摆片的粘接需求,也就是说,环氧树脂胶的粘接区域位于隔离槽形成的隔离区域内部。

7.根据权利要求1所述的一种新型石英玻璃摆片,其特征在于:所述的隔离槽为通槽。

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