[发明专利]气体检测装置

说明书

本发明涉及一种气体检测装置，其包括：用于吸入空气的泵模块；传感器模块，传感器模块包括对该空气中所包含的气体进行检测的多个单元传感器；驱动模块，驱动模块对泵模块和传感器模块进行驱动；以及壳体，壳体包括主体和盖，主体安装成允许泵模块、传感器模块和驱动模块中的至少一者能够拆卸，盖连接至主体以允许泵模块、传感器模块和驱动模块中的所述至少一者被暴露。

技术领域

本公开涉及气体检测装置。

背景技术

可以在半导体生产线和工业现场中使用各种气体，并且可以操作气体检测装置以防止由于气体泄漏引起的大规模事故。气体检测装置可用来对执行半导体处理的室或连接至该室的气体管或阀中的气体进行检测。替代性地，气体检测装置可用来检测工业现场的气体泄漏。通常，会在现场使用各种类型的气体，因此，对能够检测各种类型的气体的气体检测装置的需求日益增加。

发明内容

本公开的方面提供了一种气体检测装置，该气体检测装置能够同时地检测不同的气体并且允许以下述方式进行的有效维护：即，使对气体进行检测的传感器和确定流入气体检测装置中的空气的流量的泵被模块化以使其能够在不需要附加设备的情况下被简单地更换。

根据本公开的方面，气体检测装置包括：用于吸入空气的泵模块；传感器模块，该传感器模块包括对该空气中所包含的气体进行检测的多个单元传感器；驱动模块，该驱动模块对泵模块和传感器模块进行驱动；以及壳体，该壳体包括主体和盖，泵模块、传感器模块和驱动模块中的至少一者被安装在主体中且安装成能够拆卸，并且盖连接至主体而允许泵模块、传感器模块和驱动模块中的所述至少一者被暴露。

根据本公开的方面，气体检测装置包括：壳体，该壳体包括主体和盖，主体具有第一容置空间和第二容置空间，盖以可旋转的方式连接至主体而允许第一容置空间和第二容置空间被敞开及封闭；泵模块，该泵模块被安装在第一容置空间中并安装成能够以可滑动的方式拆卸及插入，并且泵模块吸入空气；传感器模块，该传感器模块安装在第二容置空间中并安装成能够以可滑动的方式拆卸及插入，并且传感器模块检测空气中所包含的气体；以及驱动模块，该驱动模块设置在第一容置空间和第二容置空间的后部上，并且驱动模块对泵模块和传感器模块进行驱动。

附图说明

通过结合附图进行的以下详细描述，本公开的上述及其他方面、特征和优点将会被更清楚地理解，在附图中：

图1A和图1B是包括有根据示例性实施方式的气体检测装置的处理设备的示意图；

图2是根据示例性实施方式的气体检测装置的示意性框图；

图3至图5是示出了根据示例性实施方式的气体检测装置的外部的立体图；

图6A和图6B是示出了根据示例性实施方式的气体检测装置的视图；

图7是根据示例性实施方式的气体检测装置的分解视图；

图8和图9是示出了根据示例性实施方式的气体检测装置的视图；

图10A至图10C是示出了更换根据示例性实施方式的气体检测装置中的传感器模块的方法的视图；

图11A至图11C是示出了更换根据示例性实施方式的气体检测装置中的泵模块的方法的视图；

图12A和图12B是示出了包括在根据示例性实施方式的气体检测装置中的传感器模块的外部的视图；

图13是示出了包括在根据示例性实施方式的气体检测装置中的传感器模块的分解视图；

图14A和图14B是示出了根据示例性实施方式的传感器模块中的空气流的视图；以及

图15是示出了包括在根据示例性实施方式的气体检测装置中的泵模块的视图。

具体实施方式