[发明专利]一种硅片自动化生产用上料装置

说明书

本发明涉及一种硅片自动化生产用上料装置，包括硅原料存放箱，硅原料存放箱的底部设有出料口，出料口连接原料导出机构，原料导出机构的底部设有初步上料机构，初步上料机构的顶部设有水平传送带，水平传送带的端部设有硅片加工设备，水平传送带和硅片加工设备之间设有原料夹取机构；原料导出机构包括设置在硅原料存放箱底部与硅原料存放箱内腔连通的导出管，导出管上设有阀板组件。该上料装置实现了硅原料的初步整体上料以及硅块的单个精准上料，保证了上料的效率和精度。

技术领域

本发明涉及半导体材料加工领域，尤其是一种硅片自动化生产用上料装置。

背景技术

硅原料属于重要的半导体材料，化学元素符号Si，电子工业上使用的硅应具有高纯度和优良的电学和机械等性能。硅是产量最大、应用最广的半导体材料，它的产量和用量标志着一个国家的电子工业水平，硅原料在进行硅片加工时需要将硅块原料进行均匀筛选，然后通过上料机构上料并将硅块原料导入到硅片加工设备内，在硅原料加工领域，现在还没有机械化的硅原料上料机构，亟待一种硅片自动化生产用上料装置来提高硅原料的上料效率。

发明内容

本发明的目的是为了解决现有技术存在的缺陷，提供一种硅片自动化生产用上料装置。

为了实现上述目的，本发明采用的技术方案是：

一种硅片自动化生产用上料装置，包括硅原料存放箱，硅原料存放箱的底部设有出料口，出料口连接原料导出机构，原料导出机构的底部设有初步上料机构，初步上料机构的顶部设有水平传送带，水平传送带的端部设有硅片加工设备，水平传送带和硅片加工设备之间设有原料夹取机构；

所述原料导出机构包括设置在硅原料存放箱底部与硅原料存放箱内腔连通的导出管，导出管上设有阀板组件；

所述初步上料机构包括设置在导出管下方的倾斜传送带，倾斜传送带上设有隔板组件，隔板组件包括固定在倾斜传送带一侧的固定座，固定座上设有插入口，插入口内插入隔板，倾斜传送带上相邻的隔板之间形成原料存放腔。

上述的一种硅片自动化生产用上料装置，所述原料夹取机构包括设置在水平传送带上方的固定箱，固定箱的一侧设有夹取机械手，夹取机械手的端部设有两个夹钳，两个夹钳的尾部铰接且通过夹紧气缸连接。

上述的一种硅片自动化生产用上料装置，所述夹取机械手的尾部连接摆动气缸，夹取机械手的侧面铰接斜置气缸和伸缩杆。

上述的一种硅片自动化生产用上料装置，所述斜置气缸的气缸杆与夹取机械手铰接，斜置气缸的缸体固定在所述固定箱上。

上述的一种硅片自动化生产用上料装置，所述升缩杆包括第一伸缩杆以及套设在第一伸缩杆外侧的第二伸缩杆，第一伸缩杆与所述夹取机械手铰接，第二伸缩杆与所述固定箱铰接。

上述的一种硅片自动化生产用上料装置，所述阀板组件包括设置在导出管上的安装口，安装口内安置阀板，阀板的一端与导出管的内壁接触，另一端穿出导出管，导出管的外侧设有与阀板连接的气缸。

上述的一种硅片自动化生产用上料装置，所述倾斜传送带的倾斜角度为15度。

上述的一种硅片自动化生产用上料装置，所述倾斜传送带上的隔板与地面垂直。

上述的一种硅片自动化生产用上料装置，所述倾斜传送带和水平传送带的内侧设有滚轮。