[发明专利]一种曝光机及其传送基板的方法

说明书

一种曝光机，包括基台部，端口部以及传送结构；所述基台部包括工作台、以及承片框，所述承片框位于所述工作台上，用于放置托盘，所述托盘用于盛放基板；所述端口部用作所述曝光机的入料口和出料口；所述传送机构包括上臂、下臂以及可移动式的托盘导轨，所述托盘导轨连接所述基台部与所述端口部，其中，所述下臂设置有挂钩，用于钩取所述托盘并将所述托盘移至所述端口部。有益效果：本发明通过采用下臂上的挂钩钩取托盘的方式将托盘直接从基台部拉取到端口部，进而传送出曝光机，与此同时，使用上臂夹取下一组基板进行曝光制程，减少了基板在曝光机中由于上下臂交换导致的节拍时间的流失，达到提高生产效率的技术效果。

技术领域

本发明涉及显示技术领域，尤其涉及一种曝光机及其传送基板的方法。

背景技术

近年来，中小尺寸液晶显示器发展迅猛，LTPS(Low Temperature Poly-silicon，中文简称：低温多晶硅)制程过程中会应用到高精度的曝光机，目前基板从上游做完涂布制程后，robot(机器人)手臂将基板送入曝光机，现有技术为，在曝光机port(端口)部设计两个UPER/LOWER arm(上/下臂)，两个arm(臂)将基板从port部和stage(基台)部之间相互转换进行传送片。

综上所述，现有技术的曝光机，由于采取上下臂交换夹取基板进行传送的方式，导致节拍时间的流失。故，有必要提供一种新型的曝光机及其传送基板的方法来改善这一缺陷。

发明内容

本发明实施例提供一种曝光机，用于解决现有技术由于采取上下臂交换夹取基板进行传送的方式，导致节拍时间流失的技术问题。

本发明实施例提供一种曝光机，包括：基台部，包括工作台以及承片框，所述承片框位于所述工作台上，用于放置托盘，所述托盘用于盛放基板；端口部，用作所述曝光机的入料口和出料口；传送机构，包括上臂、下臂以及可移动式的托盘导轨，所述托盘导轨连接所述基台部与所述端口部；其中，所述下臂设置有挂钩，用于钩取所述托盘并将所述托盘移至所述端口部。

其中，所述端口部包括滚轮以及板式装载机。

其中，所述滚轮位于所述板式装载机的两侧，用于限定所述托盘的移动方向。

其中，所述板式装载机上设置有用于支撑所述基板的第一顶针组，以及用于支撑所述托盘的第二顶针组。

其中，所述曝光机的机架上设置有用于上臂移动的第一轨道，以及用于下臂移动的第二轨道。

其中，所述托盘导轨包括倾斜板、固定底座以及固定底座上的转轴，所述倾斜板通过所述转轴安装于所述固定底座上。

本发明实施例还提供一种使用上述曝光机的传送基板的方法，至少包括如下步骤：

S101、使用所述上臂从所述端口部取得一组载有所述基板的所述托盘放至所述工作台上的所述承片框进行曝光；

S102、曝光完成后，所述托盘导轨旋转，使得所述基台部与所述端口部处于同一平面；

S103、使用所述挂钩钩住所述托盘，将所述托盘拉取到所述端口部，完成传送。

其中，在S101中当进行曝光制程时，所述下臂位于所述端口部的两侧。

其中，在S102中当所述托盘导轨旋转时，所述下臂移动至所述基台部。

其中，在S103中当所述挂钩钩取所述托盘运动时，所述上臂夹取下一组基板至所述承片框上进行曝光制程。

有益效果：本发明实施例提供的一种曝光机及其传送基板的方法，通过采用下臂上的挂钩钩取托盘的方式将托盘直接从基台部拉取到端口部，进而传送出曝光机，与此同时，上臂夹取下一组基板进行曝光制程，减少了基板在曝光机中由于上下臂交换导致的节拍时间的流失，达到提高生产效率的技术效果。