[发明专利]真空设备的动密封装置及真空设备

说明书

本发明提供了真空设备的动密封装置及真空设备，涉及真空设备技术领域。旨在改善现有真空设备由于转动轴两端的轴承窜动引起的密封性能不好的问题。所述动密封装置包括：传动组件和密封组件，所述传动组件位于所述真空室外部且与真空室壁固定连接，所述传动组件与所述传输装置连接；所述密封组件用于密封所述传动组件与所述真空室的连接处。通过将所述传动组件设置在真空室外，并通过在所述传动组件与真空室外壁之间设置密封组件，密封可靠，保持真空室的真空环境；由于所述传动组件设置在真空室外当真空室内进行工作压力切换时不会对传动组件造成影响，传动组件不会窜动破坏磨损密封组件，有效保证真空室的密封性。

技术领域

本发明涉及真空设备技术领域，具体而言，涉及真空设备的动密封装置及真空设备。

背景技术

在机械加工自动化与智能化的生产线中，真空设备是为机械加工提供真空环境的不可缺少的生产设备，机械工件经生产线传入真空设备的真空室中进一步加工，加工之后再由真空室自动传出，这个过程需要真空室提供动力。现有很多真空设备在真空室内安装动力源，以便实现上述的自动搬运过程。在真空室内安装动力源，真空室会存在一定的振动，特别是在压力频繁切换的状态下，转动轴两端的固定轴承可能存在一定的窜动，引起转动轴的径向跳动，磨损密封件，造成系统泄漏。

为解决现有真空设备由于转动轴两端的轴承窜动引起的密封性能不好的技术问题，提出本申请。

发明内容

本发明提供了真空设备的动密封装置及真空设备，旨在改善现有真空设备由于转动轴两端的轴承窜动引起的密封性能不好的问题。

第一方面，本发明提供了一种真空设备的动密封装置，所述真空设备包括真空室，所述真空室内设置有传输装置，所述动密封装置包括：传动组件和密封组件，所述传动组件位于所述真空室外部且与真空室壁固定连接，所述传动组件与所述传输装置连接；所述密封组件用于密封所述传动组件与所述真空室的连接处。

进一步地，在本发明一个较佳的实施例中，还包括：驱动机构，所述传动组件包括动力转轴，所述动力转轴一端与所述驱动机构连接，所述动力转轴的另一端穿过所述真空室壁并于所述真空室内与所述传输装置连接。

进一步地，在本发明一个较佳的实施例中，所述传动组件还包括链轮，所述链轮设置于所述动力转轴上与所述驱动机构连接的一端。

进一步地，在本发明一个较佳的实施例中，所述传动组件还包括：轴承及轴承座，所述轴承套设于所述动力转轴上，所述轴承座与所述轴承连接；所述轴承座与所述真空室壁固定连接，以将所述动力转轴及所述轴承与所述真空室固定。

进一步地，在本发明一个较佳的实施例中，所述密封组件包括密封垫片，所述密封垫片套设于所述动力转轴上，且所述密封垫片用于密封连接所述动力转轴与所述真空室壁。

进一步地，在本发明一个较佳的实施例中，所述密封组件还包括第一密封圈，所述第一密封圈用于密封连接所述密封垫片与所述动力转轴。

进一步地，在本发明一个较佳的实施例中，所述密封组件还包括第二密封圈，所述第二密封圈沿所述轴承座的端面设置，所述第二密封圈用于密封连接所述轴承座与所述真空室壁。

进一步地，在本发明一个较佳的实施例中，所述密封组件还包括骨架油封，所述骨架油封套设于所述动力转轴上，且位于所述密封垫片和所述轴承之间。

进一步地，在本发明一个较佳的实施例中，还包括：第一轴套，所述轴承包括沿所述动力转轴的径向设置的第一轴承和第二轴承，所述第一轴承靠近所述真空室壁；所述第一轴套套设于所述动力转轴上且位于所述第一轴承和所述第二轴承之间。

进一步地，在本发明一个较佳的实施例中，还包括：第二轴套，所述第二轴套套设于所述动力转轴上且位于所述第二轴承与所述链轮之间。

进一步地，在本发明一个较佳的实施例中，所述轴承为深沟球轴承。