[发明专利]一种高性能表面波滤波器

权利要求书

1.一种高性能声表面波滤波器，其特征在于：包括基板、设置于所述基板上部的支撑柱、设置于所述支撑柱上部的压电材料层以及处于该所述压电材料层上部的换能器组件；所述支撑柱中间部位为中空结构，在压电材料层与基板之间形成有利于声表面波在压电材料层传播的中空区域；所述换能器组件包括发送换能器单元以及接收换能器单元；且该发送换能器单元包括用于形成反压电效应、产生弹性形变、生成声表面波的第一金属电极组件以及与所述第一金属电极组件电性连接的信号源单元；所述接收换能器单元包括用于形成正压电效应、产生电信号的第二金属电极组件以及与所述第二金属电极组件电性连接的组件单元。

2.如权利要求1所述的一种高性能表面波滤波器，其特征在于：所述压电材料层两端还设置有用于吸收部分声表面波的吸声材料单元。

3.如权利要求1或2所述的一种高性能表面波滤波器，其特征在于：所述第一金属电极组件、第二金属电极组件都包括呈叉指状设置的正向金属电极单元和负向金属电极单元。

4.如权利要求1所述的一种高性能声表面波滤波器，其特征在于：所述压电材料层的厚度范围为0.1-250um。

5.如权利要求1或4所述的一种高性能声表面波滤波器，其特征在于：所述支撑柱与压电材料层之间还设置有用于增强压电材料层强度、控制滤波器带宽的金属材质层。

6.如权利要求5所述的一种高性能声表面波滤波器，其特征在于：所述金属材质层的厚度范围为0.02-300um。

7.如权利要求1所述的一种高性能声表面波滤波器，其特征在于：所述支撑柱中间部位中空结构的高度范围为1-200um。

8.如权利要求1所述的一种高性能声表面波滤波器，其特征在于：所述换能器组件的厚度范围为0.02-300um。

9.如权利要求1或4所述的一种高性能声表面波滤波器，其特征在于：所述压电材料层包括LiTaO₃、LiNiO₃、石英晶体、ALN或ZnO。