[发明专利]一种高纯气体保护气自动配比系统

说明书

本发明提供一种高纯气体保护气自动配比系统，属于保护气混合配比领域,包括气体混合系统，所述气体混合系统包括卧式混合罐，所述卧式混合罐上方依次设有第一氮气入口、第一氢气入口、第一保护气出口、第二保护气出口、第二氢气入口和第二氮气入口，所述第一氢气入口和所述第二氢气入口分别连接有氢气输入调节系统，所述第一氮气入口和所述第二氮气入口分别连接有氮气输入调节系统，所述第一保护气出口和所述第二保护气出口分别连接有保护气输出系统。本发明的氢气输入调节系统和氮气输入调节系统各为一用一备，且调节精度高、安全性高，能实现低氢和高氢状态下氢气的有效切断。

技术领域

本发明属于保护气混合配比领域，具体涉及一种高纯气体保护气自动配比系统。

背景技术

氢氮混合气是一种重要的低成本保护气，在冶金、电子、化工等行业中有着重要应用，随着产品质量的要求越来越高，作为提供氢氮保护气的配比系统，对其调节精度、自动化性能的要求也越来越高。

早期的氢氮保护气配比系统中，对于氢气比例等参数的调节操作，均是在经验下进行的简单机械式调节。后来开始出现对单一参数进行调节的半自动配比系统，主要是针对氢气流量的自动控制。随后又出现了全自动配比装置，可以对配比工艺过程中的起炉、加氢、取样等过程进行系统化控制的。目前的全自动配比装置，对气体纯度的要求不高，虽然在调节精度、系统安全性等方面比以往的机械和半自动装置要好，但主要应用的是普氢和普氮，系统的调节精度不能满足高纯气体的要求。另外，由于调节精度相对较低，通常无法实现低氢和高氢状态下氢气的有效切断，系统安全性较差，不能满足高质量产品的要求。

因此，急需一种针对高纯气体的全自动保护气配比系统，使系统的调节精度、安全性等方面可满足高纯气体的要求，且能够实现低氢和高氢状态下氢气的有效切断。

发明内容

本发明的目的是针对现有保护气自动配比系统存在的不足，提供一种高纯气体保护气自动配比系统，使系统的调节精度、安全性等方面可满足高品质的要求，且能够实现低氢和高氢状态下氢气的有效切断。

本发明提供了如下的技术方案：

一种高纯气体保护气自动配比系统，包括气体混合系统，所述气体混合系统包括卧式混合罐，所述卧式混合罐上方依次设有第一氮气入口、第一氢气入口、第一保护气出口、第二保护气出口、第二氢气入口和第二氮气入口，所述第一氢气入口和所述第二氢气入口分别连接有氢气输入调节系统，所述第一氮气入口和所述第二氮气入口分别连接有氮气输入调节系统，所述第一保护气出口和所述第二保护气出口分别连接有保护气输出系统。

优选的，所述氢气输入调节系统包括沿氢气流动方向依次设置的第一氢气压力传感器、第一氢气球阀、氢气切断阀、氢气压力调节阀、第二氢气压力传感器、第二氢气球阀、氢气质量流量控制阀、第三氢气球阀及氢气单向阀，所述第二氢气球阀的进口处与所述第三氢气球阀的出口处之间连接有氢气旁通管，所述氢气旁通管上设有氢气旁通阀，当流量调节出现问题时，可利用氢气旁通阀进行手动调节，有助于减少因配比系统问题带来的损失。

优选的，所述氮气输入调节系统包括沿氮气流动方向依次设置的第一氮气压力传感器、第一氮气球阀、氮气切断阀、氮气压力调节阀、第二氮气压力传感器、氮气涡街流量计、第二氮气球阀、氮气流量计调节阀、第三氮气球阀及氮气单向阀，所述第二氮气球阀的进口处与所述第三氮气球阀的出口处之间连接有氮气旁通管，所述氮气旁通管上设有氮气旁通阀，当流量调节出现问题时，可利用氮气旁通阀进行手动调节，有助于减少因配比系统问题带来的损失。

优选的，所述保护气输出系统包括沿保护气流动方向依次设置的保护气切断阀、在线检测仪表、保护气压力传感器、保护气涡街流量计和保护气单向阀。

优选的，所述氢气质量流量控制阀分别与所述保护气涡街流量计、所述在线检测仪表相互通信。

优选的，所述氮气流量计调节阀与所述保护气压力传感器相互通信。