[发明专利]用于同时测量弯曲应变和压力的传感器

权利要求书

1.一种用于同时测量弯曲应变和压力的传感器，所述传感器包括从下到上依次设置的第一支撑层、金属薄膜层、介质层、第二支撑层以及电极层，

其特征在于，所述金属薄膜层嵌置在所述第一支撑层与所述介质层之间，用于感应弯曲应变，所述电极层与所述金属薄膜层平行地设置，用于与所述金属薄膜层形成电容式压力传感器；

其中，所述金属薄膜层通过喷墨打印形成于所述第一支撑层上；

所述电极层通过喷墨打印形成于所述第二支撑层上；

其中，所述金属薄膜层包括成“工”字型设置的金属薄膜层第一部分、金属薄膜层第二部分和金属薄膜层第三部分，所述金属薄膜层第二部分位于所述金属薄膜层第一部分和金属薄膜层第三部分之间；

其中，所述金属薄膜层第一部分的宽度等于所述金属薄膜层第三部分的宽度，且所述金属薄膜层第二部分的宽度小于所述金属薄膜层第一部分的宽度和/或所述金属薄膜层第三部分的宽度。

2.如权利要求1所述的传感器，其特征在于，所述电极层包括电极层第一部分和从所述电极层第一部分的一侧向远离所述电极层第一部分的方向延伸的电极层第二部分，所述电极层第二部分的尺寸小于所述电极层第一部分的尺寸。

3.如权利要求2所述的传感器，其特征在于，所述电极层第一部分的宽度等于所述金属薄膜层第二部分的宽度，且所述电极层第一部分与所述金属薄膜层第二部分在竖直方向上对齐设置。

4.如权利要求1-3任一项所述的传感器，其特征在于，所述第一支撑层和/或第二支撑层采用聚萘二甲酸乙二醇酯、聚对苯二甲酸乙二醇酯或聚酰亚胺制成。

5.如权利要求1-3任一项所述的传感器，其特征在于，所述第一支撑层和/或所述第二支撑层采用经过甘油浸泡的纸制成。

6.如权利要求1-3任一项所述的传感器，其特征在于，所述介质层采用硅胶制成。

7.如权利要求1-3任一项所述的传感器，其特征在于，所述传感器还包括设置在所述电极层上方和/或所述第一支撑层下方的封装层。

8.如权利要求7所述的传感器，其特征在于，所述封装层采用硅胶制成。