[发明专利]基于小波域相位提取的缺陷检测方法及检测装置在审
申请号: | 201811099993.7 | 申请日: | 2018-09-20 |
公开(公告)号: | CN110174422A | 公开(公告)日: | 2019-08-27 |
发明(设计)人: | 周仲兴;徐加明;李水能 | 申请(专利权)人: | 立讯精密工业(昆山)有限公司 |
主分类号: | G01N23/041 | 分类号: | G01N23/041 |
代理公司: | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人: | 梁挥;祁建国 |
地址: | 215324 *** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 待成像物体 放射成像系统 成像参数 成像结果 检测装置 缺陷检测 相位提取 归一化 小波域 图像 抽取 点扩散函数 曝光参数 相衬成像 相位信息 小波变换 探测器 同轴 成像 光源 检测 | ||
1.一种基于小波域相位提取的缺陷检测方法,其特征在于,包括如下步骤:
(1)设置同轴相衬成像参数,所述成像参数包括光源到待成像物体的距离L1、待成像物体到探测器的距离L2;
(2)设置放射成像系统的曝光参数,获得所述放射成像系统的系统点扩散函数h(x,y)及其曲线,其中,x,y是空间位置坐标;
(3)放置待成像物体,并在所述成像参数、所述曝光参数条件下对所述待成像物体成像,获得成像结果IN(x,y),其中,x,y是空间位置坐标;
(4)根据所述成像结果IN(x,y)、所述系统点扩散函数h(x,y)对归一化相衬图像g(I)进行变换,获得所述归一化相衬图像g(I)的相位抽取结果;
(5)根据所述相位抽取结果,计算得到所述待成像物体的相位信息图像;
其中,对步骤(4)中的所述归一化相衬图像进行小波变换。
2.如权利要求1所述的基于小波域相位提取的缺陷检测方法,其特征在于,所述步骤(4)还包括:
设定小波变换尺度,通过所述小波变换,获得各个小波子带的小波系数图像。
3.如权利要求2所述的基于小波域相位提取的缺陷检测方法,其特征在于,所述步骤(4)还包括:
根据所述小波系数图像,对所述各个小波子带进行相位抽取,获得所述各个小波子带的相位抽取结果。
4.如权利要求3所述的基于小波域相位提取的缺陷检测方法,其特征在于,所述步骤(4)还包括:
对所述所有小波子带的所述相位抽取结果进行小波逆变换,获得相衬图像的相位抽取结果。
5.如权利要求4所述的基于小波域相位提取的缺陷检测方法,其特征在于:
所述归一化相衬图像g(I)为通过所述小波变换,获得各个小波子带的小波系数图像其中,a,b∈{L,H},分别表示水平、垂直、对角和概貌小波系数,J为所述小波尺度。
6.如权利要求5所述的基于小波域相位提取的缺陷检测方法,其特征在于:
采用公式对各个所述小波子带进行所述相位抽取;其中,由各个小波子带的信噪比决定;MTF(u,v)为所述系统点扩散函数h(x,y)的傅里叶变换;*号表示求共轭复数;α表示松弛因子,根据所述待成像物体的组成成份进行估计;u、v分别为横轴和纵轴方向的空间频率,λ为所述光源发射的X射线波长。
7.如权利要求6所述的基于小波域相位提取的缺陷检测方法,其特征在于,所述步骤(1)还包括:
设置所述光源到所述待成像物体的所述距离L1为200cm,所述待成像物体到所述探测器的所述距离L2为100cm。
8.如权利要求7所述的基于小波域相位提取的缺陷检测方法,其特征在于,所述步骤(2)还包括:
通过放置刀口器具在所述待成像物体的平面位置,连续采集m幅图像,从每幅所述图像获取不同位置的刀口截面曲线n条,而后将m*n条所述刀口截面曲线进行平均,再对平均曲线求导数,获得所述放射成像系统的系统点扩散函数h(x,y)及其曲线。
9.如权利要求8所述的基于小波域相位提取的缺陷检测方法,其特征在于,m为15,n为50。
10.如权利要求1所述的基于小波域相位提取的缺陷检测方法,其特征在于,所述待成像物体采用气泡裂纹仿体。
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