[发明专利]使用柔性可延展电极采集脑电信号的可穿戴设备有效
申请号: | 201811101303.7 | 申请日: | 2018-09-20 |
公开(公告)号: | CN109171715B | 公开(公告)日: | 2019-11-22 |
发明(设计)人: | 冯雪;王宙恒;韩志远 | 申请(专利权)人: | 清华大学 |
主分类号: | A61B5/0476 | 分类号: | A61B5/0476;A61B5/0478;A61B5/00 |
代理公司: | 11277 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人: | 刘新宇<国际申请>=<国际公布>=<进入 |
地址: | 100084*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 可延展电极 电极主体 脑电信号 可穿戴设备 采集脑电信号 衬底层 可延展 采集 检测 采集目标 采集设备 导线传输 | ||
1.一种使用柔性可延展电极采集脑电信号的可穿戴设备,其特征在于,所述可穿戴设备上集成有柔性可延展电极,
所述柔性可延展电极包括柔性可延展衬底层、电极主体和从电极主体引出的导线,所述电极主体和所述导线设置在所述柔性可延展衬底层上;
所述柔性可延展电极通过所述电极主体采集目标对象的脑电信号,并将采集的脑电信号通过所述导线传输给采集设备;
所述电极主体包含网状结构,所述网状结构为以下任意一种:三角形、四边形、梅花形;
所述导线为表链线形、网格形、星形或梅花形。
2.根据权利要求1所述的可穿戴设备,其特征在于,所述电极主体和所述导线由金属薄膜和聚酰亚胺PI薄膜制成。
3.根据权利要求2所述的可穿戴设备,其特征在于,
所述金属薄膜包括第一金属层和第二金属层;
其中,第一金属层用于将第二金属层粘结至聚酰亚胺PI薄膜,所述聚酰亚胺PI薄膜与柔性可延展衬底层粘结。
4.根据权利要求3所述的可穿戴设备,其特征在于,
所述第一金属层包括金属铬、钛中的一者或两者;
所述第二金属层包括金属金、铂、铱中的一者或多者。
5.根据权利要求4所述的可穿戴设备,其特征在于,
所述第一金属层的厚度为5~20nm;
所述第二金属层的厚度为100~200nm
所述聚酰亚胺PI薄膜厚度为3μm~6μm。
6.根据权利要求1-5任意一项所述的可穿戴设备,其特征在于,所述导线和/或电极主体为可延展结构。
7.根据权利要求1-5任意一项所述的可穿戴设备,其特征在于,所述可穿戴设备为入耳式耳机,所述柔性可延展电极设置在所述入耳式耳机上能够与耳道内皮肤接触的位置;
其中,所述导线通过漆包线连接所述采集设备,所述漆包线从耳机帽预留孔中穿过设置在耳机线内。
8.一种柔性可延展电极的制备方法,其特征在于,所述方法包括:
在硬质基片上制备牺牲层;
在牺牲层上涂覆聚酰亚胺PI溶液,并加热固化为PI薄膜;
在PI薄膜上形成金属薄膜;
对金属薄膜进行图案化;
刻蚀牺牲层,形成由PI薄膜和图案化后的金属薄膜组成的可延展金属电极;
将可延展金属电极转印至柔性可延展衬底层上,其中,PI薄膜侧与柔性可延展衬底层粘结;
以图案化后的金属薄膜为掩膜,采用反应离子刻蚀技术刻蚀可延展金属电极的PI薄膜,得到柔性可延展电极;
对金属薄膜进行图案化,包括:利用光刻法或者光刻掩膜抬离法对金属薄膜进行图案化,通过图案化将电极主体制成网状结构,将导线制成表链线形,使得电极主体和导线具有延展性。
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