[发明专利]一种硅片研磨固定装置

说明书

本发明涉及硅片加工技术领域，具体是一种硅片研磨固定装置，包括箱体，箱体的下部内腔上下滑动设有升降座，升降座内开设有矩形滑腔，矩形滑腔内转动贯穿安装有横向设置的第一丝杆，两个第二矩形滑块均采用螺纹连接方式分别安装在第一丝杆两侧的外圆周上，两个支撑竖杆分别固定连接安装在两个第二矩形滑块上，且两个支撑竖杆的顶端均固定安装有压块。本发明结构合理，设计新颖，通过设有的滑块和丝杆之间的相互配合，实现着对硅片研磨时的固定，避免人工手持进行研磨，降低劳动轻度，而且能够对不同尺寸宽度的硅片的夹持，适用性强，可靠性高。

技术领域

本发明涉及硅片加工技术领域，具体是一种硅片研磨固定装置。

背景技术

硅片是制作集成电路的重要材料，通过对硅片进行光刻、离子注入等手段，可以制成各种半导体器件。用硅片制成的芯片有着惊人的运算能力。科学技术的发展不断推动着半导体的发展。自动化和计算机等技术发展，使硅片这种高技术产品的造价已降到十分低廉的程度。

在硅片加工过程中，将硅棒加工成硅片后，硅片上会产生不规则的形状，为了不影响后续加工的质量，要将该不规则边去，因此就需要人工手持的方式在砂轮的来回校正，但是由于采用手持的方式，因此该操作就会带来以下缺点：（1）浪费专门研磨的劳动力；（2）由于手持过程中可能会出现轻微晃动，导致研磨的平整度人为很难把握，报废率相对较大。

发明内容

本发明的目的在于提供一种硅片研磨固定装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：

一种硅片研磨固定装置，包括箱体，所述箱体的下部内腔上下滑动设有升降座，所述升降座内开设有矩形滑腔，矩形滑腔内转动贯穿安装有横向设置的第一丝杆，两个第二矩形滑块均水平滑动设于矩形滑腔内，且两个第二矩形滑块均采用螺纹连接方式分别安装在第一丝杆两侧的外圆周上，两个支撑竖杆分别固定连接安装在两个第二矩形滑块上，且两个所述支撑竖杆的顶端均固定安装有压块，所述箱体的上部内腔中贯穿转动架设安装有第二丝杆，两个第二矩形滑块均采用螺纹连接方式分别安装在第二丝杆的两侧外圆周上，所述升降座两侧顶部均固定设置有铰接座，两个第二矩形滑块与两个铰接座之间分别通过支撑连杆相连接。

作为本发明进一步的方案：所述第一丝杆的两侧外圆周的螺纹旋向相反设置，且第一丝杆的两端均固定设置有第一调节手轮。

作为本发明进一步的方案：所述升降座内矩形滑腔的顶板上还开设有第三条形通孔，第三条形通孔内水平滑动设有两个支撑竖杆。

作为本发明进一步的方案：箱体的顶板上对称开设有两个第一条形通孔，两个所述支撑竖杆的上部分别滑动设于两个第一条形通孔内。

作为本发明进一步的方案：所述第二丝杆两侧外圆周上的螺纹旋向相反设置，且第二丝杆的两端均固定设置有第二调节手轮。

作为本发明进一步的方案：所述第二矩形滑块的一端底部通过铰接轴铰接连接有支撑连杆，支撑连杆的另一端与铰接座之间通过铰接轴铰接连接。

作为本发明进一步的方案：所述箱体的下部侧板内壁上开设有导轨槽，升降座的端部上下滑动设于导轨槽内。

作为本发明进一步的方案：所述箱体的下部侧板上开设有与导轨槽相对应的第二条形通孔，第一丝杆的端部上下滑动贯穿于第二条形通孔内。

作为本发明进一步的方案：压块的下表面固定设置有防滑垫，防滑垫的下表面加工有锯齿。

与现有技术相比，本发明的有益效果是：