[发明专利]柔性射频振荡器

权利要求书

1.一种柔性射频振荡器，其特征在于，包括：柔性基底、选频网络、柔性电学元件以及柔性电路连接，其中：

所述选频网络、柔性电学元件以及柔性电路连接均位于所述柔性基底之上；

所述选频网络用于获得所需频率范围的信号；

所述柔性电路连接用于将所述选频网络和所述柔性电学元件进行电学连接。

2.根据权利要求1所述的柔性射频振荡器，其特征在于，所述选频网络包括：薄膜体声波滤波器、固体装配型谐振器、硅压电薄膜或兰姆波谐振器。

3.根据权利要求2所述的柔性射频振荡器，当所述选频网络为所述薄膜体声波滤波器、固体装配型谐振器或者兰姆波谐振器时，其特征在于，所述柔性基底的顶部具有空腔，所述空腔的位置与所述选频网络位置对准。

4.根据权利要求3所述的柔性射频振荡器，其特征在于，所述空腔的横截面呈圆形、三角形或者多边形。

5.根据权利要求3所述的柔性射频振荡器，其特征在于，所述空腔的横截面尺寸大于所述选频网络的有效工作区域的尺寸，并且小于所述选频网络的平面尺寸的80％。

6.根据权利要求3所述的柔性射频振荡器，其特征在于，所述空腔由热压印法或者刻蚀法加工得到。

7.根据权利要求3所述的柔性射频振荡器，其特征在于，所述空腔深度大于2μm。

8.根据权利要求1所述的柔性射频振荡器，其特征在于，所述柔性电学元件包括如下选项的一种或多种的组合：柔性场效应管、柔性电容、柔性电感、柔性电阻。

9.根据权利要求8所述的柔性射频振荡器，其特征在于，所述柔性场效应管包括如下选项的一种或多种的组合：二维材料场效应管、有机材料场效应管、碳纳米管场效应管、异质结场效应管。

10.根据权利要求9所述的柔性射频振荡器，其特征在于，所述二维材料柔性场效应管为：石墨烯薄膜场效应管、黑磷薄膜场效应管、二硫化钼场效应管、砷化镓场效应管或者氮化镓场效应管。

11.根据权利要求1所述的柔性射频振荡器，其特征在于，所述柔性电路连接的横截面宽度小于5mm，高度小于1mm，且宽高比小于10:1。

12.根据权利要求1所述的柔性射频振荡器，其特征在于，所述柔性基底的厚度为1μm至1mm。

13.根据权利要求1所述的柔性射频振荡器，其特征在于，所述电学元件的厚度为10nm至10μm。

14.根据权利要求1所述的柔性射频振荡器，其特征在于，所述选频网络是通过印章转移的方式从硬质基底上迁至上述柔性基底上的。