[发明专利]波纹管以及薄膜沉积设备

权利要求书

1.一种薄膜沉积设备，其特征在于，包括：

加热腔室，包括位于所述加热腔室底部的安装孔，所述安装孔将所述加热腔室与外界连通；

波纹管，包括：

本体，所述本体能够在轴向上伸长或者缩短；

销轴，设于所述本体外侧，且处于所述本体的轴向上的第一位置；

挂钩，所述挂钩的第一端与所述本体外侧连接，且处于所述本体的轴向上的第二位置，所述挂钩的第二端具有与所述销轴匹配的挂接结构，当所述第一位置与所述第二位置之间的轴向长度缩短到预定长度时，所述销轴能卡入所述挂接结构内，以限定所述第一位置与所述第二位置之间的轴向长度；

所述波纹管的本体的一端与所述加热腔室外壁连接，并与所述安装孔对应；

升降基座，设于所述加热腔室外，所述波纹管的本体的另一端与所述升降基座连接，所述升降基座上升或者下降时，带动所述波纹管缩短或者伸长；

加热基座，包括位于所述加热腔室内的工作台以及用于支撑所述工作台的支撑杆，所述支撑杆的一端与所述工作台连接，另一端穿过所述安装孔和所述波纹管通道安装在所述升降基座上。

2.根据权利要求1所述的薄膜沉积设备，其特征在于，所述销轴与所述挂钩的第一端之间的连线平行于所述本体的轴向。

3.根据权利要求1所述的薄膜沉积设备，其特征在于，所述本体外侧设有转轴，所述挂钩的第一端与所述转轴转动连接，从而使所述挂钩与所述本体转动连接。

4.根据权利要求3所述的薄膜沉积设备，其特征在于，所述挂钩为板状，包括两个相对的主表面和连接在两所述主表面间的侧面，所述挂钩的第一端具有连通两所述主表面的孔，所述转轴穿设于所述孔中；

所述挂钩的第二端具有远离所述第一端的下侧面，以及与所述下侧面相连的两个边侧面，所述挂接结构为设于其中一个所述边侧面的凹槽；当所述第一位置与所述第二位置之间的轴向长度缩短到预定长度时，所述挂钩的下侧面能够在所述销轴上滑动，以使所述销轴卡入所述凹槽内。

5.根据权利要求4所述的薄膜沉积设备，其特征在于，所述挂钩的下侧面与所述凹槽所在的所述边侧面之间的夹角为120°至150°。

6.根据权利要求1所述的薄膜沉积设备，其特征在于，所述第一位置和所述第二位置分别处于所述本体的两端。

7.根据权利要求6所述的薄膜沉积设备，其特征在于，所述本体两端分别具有第一法兰和第二法兰。

8.根据权利要求1所述的薄膜沉积设备，其特征在于，所述预定长度不大于所述挂钩的第一端与所述挂接结构之间的距离。

9.根据权利要求1所述的薄膜沉积设备，其特征在于，所述销轴与所述挂钩的数量相同，均为至少两个，且分别沿所述本体的周向均匀分布。