[发明专利]一种掩膜版检测装置及方法、掩膜版库设备

权利要求书

1.一种掩膜版检测装置，其特征在于，包括：掩膜版库，所述掩膜版库包括多个掩膜版槽；光源模块、掩膜版检测模块和信号处理模块；

所述光源模块包括第一多路选通开关和多个第一光源；所述多个第一光源分别与所述第一多路选通开关电连接；每个所述掩膜版槽的第一端设置有一所述第一光源；所述第一多路选通开关用于根据第一选通命令选择控制至少一个第一光源发出第一检测光线；

所述掩膜版检测模块包括第二多路选通开关和多个第一传感器；设置有所述第一光源的每个所述掩膜版槽的第二端设置有一第一传感器；所述掩膜版槽的第一端与第二端相对；所述第一传感器用于接收所述第一检测光线并转换为第一检测电信号；所述第二多路选通开关用于根据第二选通命令选择控制所述至少一个第一传感器接收所述第一检测光线；

所述信号处理模块分别与所述第一多路选通开关和所述第二多路选通开关电连接；所述信号处理模块用于发送所述第一选通命令至所述第一多路选通开关，发送所述第二选通命令至所述第二多路选通开关；所述信号处理模块还用于通过所述第二多路选通开关获取所述至少一个第一传感器的所述第一检测电信号并判断所述第一传感器所处的掩膜版槽是否存在掩膜版；

所述信号处理模块包括：控制器；所述控制器用于输出所述第一选通命令至所述第一多路选通开关，并输出所述第二选通命令至所述第二多路选通开关；

所述信号处理模块还包括：比较器；

所述比较器的第一输入端与所述掩膜版检测模块电连接，所述比较器的第二输入端与所述控制器的检测阈值输出端电连接，所述比较器的输出端与所述控制器电连接；用于对所述检测阈值进行校准；

所述信号处理模块控制所述掩膜版检测模块将所述掩膜版槽存在掩膜版时的第一检测电信号输入至所述比较器的第一输入端；

所述信号处理模块输出逐次增加第一增量的检测阈值至所述比较器的第二输入端；

当所述比较器输出端输出的比较信号出现电平跳变时，将电平跳变时刻对应的检测阈值与第二增量的加和作为校正后的所述检测阈值；其中，所述第二增量为所述掩膜版槽不存在掩膜版时的第一检测电信号与所述掩膜版槽存在掩膜版时的第一检测电信号的差值的二分之一。

2.根据权利要求1所述的掩膜版检测装置，其特征在于，所述信号处理模块包括：模数转换单元；

所述模数转换单元将所述掩膜版检测模块输出的第一检测电信号进行模数转换后输送至所述控制器；

所述控制器用于在模数转换后的所述第一检测电信号的数值大于检测阈值时，确定所述第一传感器所处掩膜版槽未放置掩膜版，否则确定所述第一传感器所处掩膜版槽放置有掩膜版。

3.根据权利要求2所述的掩膜版检测装置，其特征在于，所述信号处理模块还用于：接收检测阈值校准命令，并对所述检测阈值进行校正。

4.根据权利要求3所述的掩膜版检测装置，其特征在于，

所述信号处理模块用于：

在接收检测阈值校准命令时，获取多组所述掩膜版槽存在掩膜版时的第一检测电信号的平均值，并标记为第一平均值；获取多组所述掩膜版槽不存在掩膜版时的第一检测电信号的平均值，并标记为第二平均值；

将所述第二平均值和第一平均值的平均值作为校正后的检测阈值。

5.根据权利要求2所述的掩膜版检测装置，其特征在于，所述光源模块还包括：光源驱动电路，分别与所述第一多路选通开关和所述多个第一光源电连接，用于在所述第一多路选通开关的控制下驱动至少一个第一光源发光；

所述信号处理模块还包括数模转换单元，所述数模转换单元分别与所述控制器和所述光源驱动电路电连接，用于将所述控制器输出的亮度调节信号进行数模转换并输出至所述光源驱动电路；所述光源驱动电路还用于根据所述亮度调节信号调节所述第一光源的亮度。

6.根据权利要求1所述的掩膜版检测装置，其特征在于：

所述第一光源通过接插件与所述掩膜版槽的第一端的第一板卡连接；所述第一传感器通过接插件与所述掩膜版槽的第二端的第二板卡连接。