[发明专利]一种柔性显示装置及其制备方法

说明书

本发明提供一种柔性显示装置，包括柔性衬底，柔性衬底上依次层叠设置有有源层、栅极绝缘层、栅极金属层、层间绝缘层、第二金属层、平坦层以及发光层和封装层；其中，栅极绝缘层覆盖有源层，层间绝缘层覆盖栅极金属层，平坦层覆盖层间绝缘层以及所述第二金属层；其中，层间绝缘层上开设有多条沟道，沟道两端向层间绝缘层边缘延伸以贯穿层间绝缘层。在保证层间绝缘层良好的绝缘特性和氢化功能的前提下，使沟道成为显示装置弯曲时形变发生的主要区域，而由于沟道底部的无机膜层厚度较小，因此可承受更大的弯曲应力，提高了显示装置在弯曲应力下的可靠性，同时防止层间绝缘层在弯曲应力下产生裂纹及裂纹扩展导致薄膜晶体管器件的失效。

技术领域

本发明涉及显示技术领域，尤其涉及一种柔性显示装置及其制备方法。

背景技术

柔性显示装置是一种基于柔性基底材料形成的显示装置。由于柔性显示装置具有可卷曲、宽视角、便于携带等特点，因此，在便携产品、多数显示应用领域，柔性显示装置具有广阔的应用前景以及良好的市场潜力。

柔性显示技术的出现对柔性背板提出了挑战。柔性显示背板要求所有的功能膜层具有较高的柔性和可靠性。目前，由于材料和工艺的限制，柔性显示器件的柔性背板仍然采用金属和无机的功能膜层来制备。

而在传统的柔性背板结构中，存在较厚的层间绝缘层，起到如下作用：一、屏蔽金属走线间的信号干扰；二、高温氢化工艺中，提供氢原子修补主动层的缺陷。为了保证良好的绝缘特性和补氢效果，一般要求层间绝缘层具有一定的厚度，而显示装置产生弯曲时，较厚的层间绝缘层在弯曲应力下易产生裂纹及裂纹扩展，从而导致薄膜晶体管器件的失效。

发明内容

本发明提供一种柔性显示装置，以解决现有的柔性显示装置中，显示装置产生弯曲时，较厚的层间绝缘层在弯曲应力下易产生裂纹及裂纹扩展，从而导致薄膜晶体管器件失效的技术问题。

为解决上述问题，本发明提供的技术方案如下：

本发明提供一种柔性显示装置，包括：

柔性衬底；

设置于所述柔性衬底表面的有源层；

设置于所述柔性衬底上且覆盖所述有源层的栅极绝缘层；

设置于所述栅极绝缘层上的栅极金属层；

设置于所述栅极绝缘层上且覆盖所述栅极金属层的层间绝缘层；

设置于所述层间绝缘层上的第二金属层；

设置于所述栅极绝缘层且覆盖所述层间绝缘层和所述第二金属层的平坦层；

设置于所述平坦层上的发光层和封装层；

其中，所述层间绝缘层上开设有多条沟道，所述沟道两端向所述层间绝缘层边缘延伸以贯穿层间绝缘层，位于所述第二金属层下方的层间绝缘层在竖向上的投影包纳所述第二金属层在竖向上的投影。

优选的，所述沟道深度不小于所述层间绝缘层厚度。

优选的，所述沟道将层间绝缘层分割为多条绝缘隔道，所述绝缘隔道的纵截面呈正梯形。

优选的，所述第二金属层包括多条源漏金属走线，所述绝缘隔道与所述源漏金属走线一一对应。

优选的，所述柔性衬底包括第一柔性基板，以及依次层叠设置在第一柔性基板上的第一阻隔层、第二柔性基板和第二阻隔层。

本发明还提供一种柔性显示装置的制备方法，包括：

S10、在承载基板上形成柔性衬底；

S20、在所述柔性衬底上形成图形化的有源层；

S20、在所述柔性衬底上形成覆盖所述有源层的栅极绝缘层；