[发明专利]一种石英棒对接台有效
申请号: | 201811110546.7 | 申请日: | 2018-09-21 |
公开(公告)号: | CN110941147B | 公开(公告)日: | 2021-07-13 |
发明(设计)人: | 马忠良;高沛 | 申请(专利权)人: | 上海微电子装备(集团)股份有限公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20 |
代理公司: | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人: | 胡彬 |
地址: | 201203 上海市浦*** | 国省代码: | 上海;31 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 石英 对接 | ||
1.一种石英棒对接台,其特征在于,包括:
底座(1);
第一安装台(2),与所述底座(1)连接,并能相对所述底座(1)在第一水平方向滑动,所述第一安装台(2)的上表面与第一弹性元件(4)的下端连接,所述第一弹性元件(4)的上端用于连接第一石英棒(7);
第二安装台(3),与所述底座(1)连接,所述第二安装台(3)的上表面连接有第二弹性元件(5)的下端,所述第二弹性元件(5)的上端用于连接第二石英棒(8),所述第二安装台(3)与所述第一安装台(2)沿所述第一水平方向相邻设置,且所述第一石英棒(7)的一端端平面朝向所述第二石英棒(8)的一端端平面;
所述第一弹性元 件(4)和所述第二弹性元 件(5)均具有绕竖直方向的转动自由度,以使所述第一石英棒(7)与所述第二石英棒(8)对接时,所述第一石英棒(7)和/或所述第二石英棒(8)能够转动至两个端平面贴合。
2.根据权利要求1所述的石英棒对接台,其特征在于,所述第二安装台(3)能相对所述底座(1)在所述第一水平方向滑动,所述第二安装台(3)远离所述第一安装台(2)的一端与第三弹性元件(6)的一端相连接,所述第三弹性元件(6)的另一端与所述底座(1)连接。
3.根据权利要求1所述的石英棒对接台,其特征在于,所述第一弹性元件(4)和所述第二弹性元件(5)均具有两个自由度,两个自由度分别为沿其长度方向的伸缩变形和绕其 自身轴线的扭转。
4.根据权利要求2所述的石英棒对接台,其特征在于,所述底座(1)上开设有导向槽,所述导向槽沿所述第一水平方向设置,所述第一安装台(2)以及所述第二安装台(3)均与所述导向槽滑动连接。
5.根据权利要求4所述的石英棒对接台,其特征在于,所述第一安装台(2)的下表面凸设有第一滑块,所述第二安装台(3)的下表面凸设有第二滑块,所述第一滑块和所述第二滑块均与所述导向槽滑动连接。
6.根据权利要求2所述的石英棒对接台,其特征在于,所述底座(1)包括:
底板(11),所述第一安装台(2)和所述第二安装台(3)均设置在所述底板(11)上;
侧壁,围设在所述底板(11)的周缘上,所述侧壁与所述底板(11)合围形成有上端开口的容纳腔,所述第三弹性元件(6)远离所述第二安装台(3)的一端与所述侧壁(12)连接。
7.根据权利要求6所述的石英棒对接台,其特征在于,所述第一安装台(2)、所述第二安装台(3)、所述第一石英棒(7)以及所述第二石英棒(8)均位于所述容纳腔内。
8.根据权利要求6所述的石英棒对接台,其特征在于,所述石英棒对接台还包括上压盖,所述上压盖水平设置,所述第一石英棒(7)的上表面以及所述第二石英棒(8)的上表面均与所述上压盖抵接。
9.根据权利要求8所述的石英棒对接台,其特征在于,所述上压盖与所述侧壁(12)滑动连接。
10.根据权利要求1所述的石英棒对接台,其特征在于,所述第一弹性元件(4)有多个,多个所述第一弹性元件(4)沿所述第一水平方向间隔设置;
所述第二弹性元件(5)有多个,多个所述第二弹性元件(5)沿所述第一水平方向间隔设置。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海微电子装备(集团)股份有限公司,未经上海微电子装备(集团)股份有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201811110546.7/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。