[发明专利]一种石英棒对接台有效

专利信息
申请号: 201811110546.7 申请日: 2018-09-21
公开(公告)号: CN110941147B 公开(公告)日: 2021-07-13
发明(设计)人: 马忠良;高沛 申请(专利权)人: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
主分类号: G03F7/20 分类号: G03F7/20
代理公司: 北京品源专利代理有限公司 11332 代理人: 胡彬
地址: 201203 上海市浦*** 国省代码: 上海;31
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 一种 石英 对接
【权利要求书】:

1.一种石英棒对接台,其特征在于,包括:

底座(1);

第一安装台(2),与所述底座(1)连接,并能相对所述底座(1)在第一水平方向滑动,所述第一安装台(2)的上表面与第一弹性元件(4)的下端连接,所述第一弹性元件(4)的上端用于连接第一石英棒(7);

第二安装台(3),与所述底座(1)连接,所述第二安装台(3)的上表面连接有第二弹性元件(5)的下端,所述第二弹性元件(5)的上端用于连接第二石英棒(8),所述第二安装台(3)与所述第一安装台(2)沿所述第一水平方向相邻设置,且所述第一石英棒(7)的一端端平面朝向所述第二石英棒(8)的一端端平面;

所述第一弹性元 件(4)和所述第二弹性元 件(5)均具有绕竖直方向的转动自由度,以使所述第一石英棒(7)与所述第二石英棒(8)对接时,所述第一石英棒(7)和/或所述第二石英棒(8)能够转动至两个端平面贴合。

2.根据权利要求1所述的石英棒对接台,其特征在于,所述第二安装台(3)能相对所述底座(1)在所述第一水平方向滑动,所述第二安装台(3)远离所述第一安装台(2)的一端与第三弹性元件(6)的一端相连接,所述第三弹性元件(6)的另一端与所述底座(1)连接。

3.根据权利要求1所述的石英棒对接台,其特征在于,所述第一弹性元件(4)和所述第二弹性元件(5)均具有两个自由度,两个自由度分别为沿其长度方向的伸缩变形和绕其 自身轴线的扭转。

4.根据权利要求2所述的石英棒对接台,其特征在于,所述底座(1)上开设有导向槽,所述导向槽沿所述第一水平方向设置,所述第一安装台(2)以及所述第二安装台(3)均与所述导向槽滑动连接。

5.根据权利要求4所述的石英棒对接台,其特征在于,所述第一安装台(2)的下表面凸设有第一滑块,所述第二安装台(3)的下表面凸设有第二滑块,所述第一滑块和所述第二滑块均与所述导向槽滑动连接。

6.根据权利要求2所述的石英棒对接台,其特征在于,所述底座(1)包括:

底板(11),所述第一安装台(2)和所述第二安装台(3)均设置在所述底板(11)上;

侧壁,围设在所述底板(11)的周缘上,所述侧壁与所述底板(11)合围形成有上端开口的容纳腔,所述第三弹性元件(6)远离所述第二安装台(3)的一端与所述侧壁(12)连接。

7.根据权利要求6所述的石英棒对接台,其特征在于,所述第一安装台(2)、所述第二安装台(3)、所述第一石英棒(7)以及所述第二石英棒(8)均位于所述容纳腔内。

8.根据权利要求6所述的石英棒对接台,其特征在于,所述石英棒对接台还包括上压盖,所述上压盖水平设置,所述第一石英棒(7)的上表面以及所述第二石英棒(8)的上表面均与所述上压盖抵接。

9.根据权利要求8所述的石英棒对接台,其特征在于,所述上压盖与所述侧壁(12)滑动连接。

10.根据权利要求1所述的石英棒对接台,其特征在于,所述第一弹性元件(4)有多个,多个所述第一弹性元件(4)沿所述第一水平方向间隔设置;

所述第二弹性元件(5)有多个,多个所述第二弹性元件(5)沿所述第一水平方向间隔设置。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海微电子装备(集团)股份有限公司,未经上海微电子装备(集团)股份有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201811110546.7/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top