[发明专利]一种气膜形状主动控制的气浮轴承

权利要求书

1.一种气膜形状主动控制的气浮轴承装置，包括气浮轴承本体（1、2）和气膜形状控制单元（7、8、11、12），气浮轴承本体分为上本体（1）和下本体（2a、2b、2c）两部分。

2.根据权利要求1所述的气膜形状主动控制的气浮轴承，其特征在于：气浮轴承下本体（2）设有下腔室（6a、6b）。

3.根据权利要求1所述的气膜形状主动控制的气浮轴承，其特征在于：所述的气体轴承上本体（1）、气膜形状控制单元（7，8）、气体轴承下本体（2）和节流口（3）同轴安装或加工。

4.根据权利要求1所述的气膜形状主动控制的气浮轴承，其特征在于：高压气体由进气口（10）流经气体通道（9）和节流口（3），然后扩散到两支承面（2、5a）之间的间隙（4），形成一层具有一定压力的气体润滑薄膜，气膜内的气体最后经外部边界排出，从而构成了静压气体润滑支承，实现被支承物体无刚性接触地悬浮。

5.根据权利要求1所述的气膜形状主动控制的气浮轴承，其特征在于：下本体的节流口可以采用小孔节流方式、圆形或者方形狭缝等节流方式。

6.根据权利要求1所述的气膜形状主动控制的气浮轴承，其特征在于：所述的气膜形状控制单元（7、8、11、12）包括作动控制器（11）、位置传感器（12）、检测单元（8）和作动单元（7）；作动控制器（11）根据位移传感器（12）和检测单元（8）的信号产生控制信号；控制信号控制作动单元的伸缩来改变下本体的柔性结构（2）形变，从而改变气膜（4）形状，动态控制气浮轴承气膜间隙内的压强分布，从而提高气浮轴承的承载能力和动刚度。