[发明专利]光量测定装置以及光量测定方法

说明书

本发明提供光量测定装置以及光量测定方法。具备：第一运算放大器；第一输入侧光电MOS继电器；第一输出侧继电器单元；第二运算放大器；第二输入侧光电MOS继电器，其介于第二输入侧交点与光电探测器之间而存在；第二输出侧继电器单元；和控制部，其按照光电探测器中检测到的测定对象光的光量进行切换，在选择第一测定范围的情况下，使第一输入侧光电MOS继电器以及第一输出侧继电器单元接通，并使第二输入侧光电MOS继电器以及第二输出侧继电器单元断开，在选择第二测定范围的情况下，使第二输入侧光电MOS继电器以及第二输出侧继电器单元接通，并使第一输入侧光电MOS继电器以及第一输出侧继电器单元断开。

技术领域

本发明涉及用于测定从光量测定的对象物辐射的光量的光量测定装置以及光量测定方法。

背景技术

过去，在光线的光量的测定中利用光谱分析仪等光量测定装置(例如专利文献1～3)。在图8示出这样的光量测定装置的主要部分。该图所示的光量测定装置800具备光电二极管1。该光电二极管1将输出端子接地，并将输入端子与运算放大器81的负侧的输入端子连接。该运算放大器81的正侧的输入端子也接地，其输出端子经由反馈电阻82与负侧的输入端子反馈连接。在该光量测定装置1中，若测定对象光入射到光电二极管1，则该光电二极管1就会产生与入射的光量对应的电流。由于该电流被运算放大器81放大而输出，因此能通过该输出测定光线的光量。

在光量测定装置中，存在为了扩大能测定的光量的测定范围，使反馈电阻的电阻能切换的情况。作为用于切换这样的测定范围的继电器，使用水银继电器。在图9示出具备这样的测定范围的切换功能的光量测定装置。

该光量测定装置将运算放大器91的负侧的输入端子接地，其输出端子经由反馈电阻92与非反转输入端子反馈连接。反馈电阻92由电阻相互相异的(n+1)个固定电阻元件93和(n+1)个切换开关96构成，这些切换开关96切换自由地选择(n+1)个固定电阻元件93。例如在测定的光是高强度时在切换开关96选择低电阻的固定电阻元件93，在测定的光线是低强度时，在切换开关96选择高电阻的固定电阻元件93。由此，还能由在输出电压有限制的运算放大器91测定高强度的光线的光量，还能以良好的S/N(Signal-to-Noise ratio，信噪比)测定低强度的光线。由此能切换反馈电阻92的电阻，扩大光量的测定范围。

参见例如特开平11-304586号公报；特开平11-008518号公报；特开2003-194578号公报等。

但作为切换中所用的继电器而使用水银继电器这点，从近年的环保的观点出发，有限制利用水银的部件的使用的倾向。为此，由于谋求不使用水银的装置，因此推进了向模拟开关或光电MOS(PhotoMOS)继电器等的半导体开关的置换。

但若使用一般的光电MOS继电器作为这样的半导体开关，则接通时的电阻会大于的水银继电器的电阻。特别由于光电MOS继电器的接点间的寄生电容分量大，因此响应速度会降低，有得不到与水银继电器同等的测定精度的问题。

发明内容

本发明的目的之一在于，提供不使用水银继电器地确保充分的响应速度的光量测定装置以及光量测定方法。